[发明专利]烧结体、其制造方法和光学部件

说明书

技术领域

本发明涉及烧结体、所述烧结体的制造方法和光学部件，特别是涉及具有陶瓷基材的烧结体、所述烧结体的制造方法和装备有所述烧结体的光学部件。

背景技术

在日本特开昭58-113901号公报(专利文献1)中，提供了一种用于预测在使用沉积层覆盖弹性基板之前因覆盖层的内部应力而引起的变形量，以及用于预先在相反方向上以该量使得基板表面变形并防止随后的变形和所述层剥离的方法。

在日本特许3639822号公报(专利文献2)中，为了防止基板和覆盖层剥离，提供了一种用于向所述两者之间的界面设置粘合剂层并将所述上述覆盖层形成多层结构，从而缓和所有层的内部应力的方法。

在日本特开2006-053180号公报(专利文献3)中，提供了光学设备。所述光学设备包括光学元件，所述光学元件在宽的带宽内具有高的透光率，其中使得具有高和低折射率的层层积。

日本特开平2-252629号公报(专利文献4)公开了一种方法，其中将模具固定到已经被热压成形为网状物规格(ネツト寸)的光学元件上，在施加压力下对其进行加热，然后在低压下进行冷却，从而能够最简单地除去模具而不会损害结构精度。

在日本特开昭60-246231号公报(专利文献5)中，使用石墨作为当对玻璃透镜进行压制成形时所使用的上模和下模的材料。

在“フアインセラミツクスの精密加工”(“细陶瓷的精密加工”)(非专利文献1)中，对精细陶瓷进行研削和研磨，从而在所述加工表面上形成改变的层。

在“赤外透光性緻密質ZnS焼結体の光学特性”(“红外透射性的致密ZnS烧结体的光学特性”)(非专利文献2)中，提供了研磨的ZnS烧结体的结晶组织(76页，图8)。

在“光学素子と機構の検查技法”(“测试光学元件和结构的技术”)(非专利文献3)中，提供了测量透镜翘曲(测量表面挠曲)的方法。

[现有技术文献]

(专利文献)

[专利文献1]日本特开昭58-113901号公报

[专利文献2]日本特许3639822号公报

[专利文献3]日本特开2006-053180号公报

[专利文献4]日本特开平2-252629号公报

[专利文献5]日本特开昭60-246231号公报

(非专利文献)

[非专利文献1]セラミツクス加工研究会编辑，“フアインセラミツクスの精密加工”，工业调查会，第209、264页

[非专利文献2]长谷川干人、小村修等人，“赤外透光性緻密質ZnS焼結体の光学特性”，SEIテクニカルレビユ一，2002年3月发行，第160号，第73～80页

[非专利文献3]井上弘，“光学素子と機構の検查技法”，オプトロニクス社，1995年5月15日发行，第88～89页

发明内容

本发明要解决的问题

加工陶瓷是劳动密集型的，因此，通常通过使用热压等成形网状物形状或接近网状物形状并且省略加工来尝试流水作业。对于其加工是劳动密集的陶瓷制品、特别是透镜和其它光学制品来说，通常实现这类网状物形状或接近网状物成形。在网状物成形的制品中，将烧结的、未被机械加工的且未被加工的表面用作功能表面，但是因热收缩而产生的压缩应力保留在表面中。在已经被加工的表面中，在加工的表面中制造改变的层，如在非专利文献1中所述。压缩应力保留在表面上的改变的层中。

当将表面用作功能表面时，保留压缩应力的表面易于变形。问题还在于当用另一种材料覆盖所述功能表面或将另一种材料接合到功能表面时，所述覆盖或接合界面发生剥离。即使当尝试使用覆盖物来例如提高耐蚀性时，如果覆盖层的热膨胀系数比基材的热膨胀系数大，则随后的加热也导致起到拉开基材和表面层作用的力，并降低了粘附力。因此，可能会内在地限制了基材和表面层的组合。所以，进行根据所涉及的条件来采取措施以缓和应力(例如专利文献1～3)的设计是必要的。对于在非专利文献2中所述硫化锌烧结体研磨面的使用来说，合适的应力缓和措施也是必要的。

如上所述，当在烧结体的功能表面上形成具有特定功能的表面层时，通常需要开发设计，所述设计要考虑在功能表面中的残留的压缩应力。因此，所述表面层的耐久性、结构精度或其它功能会与表面层和基材的粘附不相容。所以，需要开发一种允许高的表面层设计自由度的烧结体。