[实用新型]一种用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置

权利要求书

1.一种用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于它包括熔融硅坩埚(1)、液态硅加料器(2)、液态硅加料管(3)、具有内部间隙的模具(4)、高纯硅籽晶(5)、籽晶提拉装置(6)以及密封炉体(7)；液态硅加料器(2)与熔融硅坩埚(1)通过液态硅加料管(3)连接，熔融硅坩埚(1)中设有模具(4)，模具(4)上方，对应间隙的位置设有高纯硅籽晶(5)，高纯硅籽晶(5)固定在籽晶提拉装置(6)下端。

2.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述熔融硅坩埚(1)设有电加热线圈。

3.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述液态硅加料器(2)设有辐射炉。

4.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述液态硅加料管(3)的外壳设有水冷夹套，内壁与外壳之间设有电加热线圈。

5.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述具有间隙结构的模具(4)，其间隙宽度为0.3～3mm，模具(4)外壁具有孔道连通间隙空间与坩埚空间。

6.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述高纯硅籽晶(5)为曲面薄壳形状，内径大于模具间隙内径，外径小于模具间隙外径。

7.根据权利要求1所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述密封炉体配有水冷夹套。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于拉制具有曲面形状硅薄壳的装置，其特征在于，所述熔融硅坩埚(1)中至少设有一个模具(4)，对应于每一个模具(4)上方设置有一个高纯硅籽晶(5)。