[实用新型]一种进行供液的系统有效

专利信息
申请号: 200920246600.0 申请日: 2009-11-05
公开(公告)号: CN201527588U 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 赵迎春;徐国刚 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: G05D9/12 分类号: G05D9/12
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 进行 系统
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及自动化领域,特别涉及一种进行供液的系统。

背景技术

目前自动化领域中,如果有需要供液进行生产的产品,都是人工手动加注液体。

比如半导体行业中,6寸及6寸以下的生产线,液罐中的液体加注到涂胶显影设备中,如果液罐中的液体没有了,需要人工停止生产线,然后手动向液灌中加注液体。

这种人工手动加注液体的方式给产品安全带来了很大安全隐患,经常发生由于未及时加液而造成产品不良现象。生产的初期产品不良原因90%以上均是由于未及时加注液体造成的。

综上所述,目前人工手动加注液体的方式,很容易出现没有及时加注液体的情况,从而增加了不良产品的数量,对生产的产品造成很大影响。

发明内容

本实用新型实施例提供一种进行供液的系统,用以降低没有及时加注液体情况的发生,从而减少不良产品的数量。

本实用新型提供一种进行供液的系统,该系统包括:至少一个供液罐(1),至少一个存储液罐(2)和可编程控制器PLC(6),其中,每个供液罐(1)中有一个液位传感器(4),每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)相连,且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连;

所述供液罐(1)中的所述液位传感器(4),用于监控所述供液罐(1)中液体的液位,在液位小于第一设定高度时,向所述可编程控制器(6)发送注液信号,在液位大于第二设定高度时,向所述可编程控制器(6)发送停止注液信号,所述第一设定高度小于所述第二设定高度;

所述可编程控制器(6),用于在收到所述注液信号后,向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送停止加压信号,以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送工作信号,在收到所述停止注液信号后,向与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5)发送开始加压信号,以及向与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3)发送停止工作信号;

与所述供液罐(1)相连的所述压力控制阀(5),用于在收到所述停止加压信号后,停止对所述供液罐(1)加压,并减小所述存储液罐(2)中的压力,在收到所述开始加压信号后,开始对所述供液罐(2)加压,将所述供液罐(1)中的液体注入外部设备中;

与所述供液罐(1)相连的所述液泵(3),用于在收到所述工作信号后,将所述存储液罐(2)中的液体注入到所述供液罐(1)中,在收到所述停止注液信号后,停止注入液体。

本实用新型实施例的供液系统能够自动为需要供液的设备进行供液,从而降低没有及时加注液体的情况,减少了不良产品的数量;进一步节省了大量人力。

附图说明

图1为本实用新型实施例第一种进行供液的系统结构示意图;

图2为本实用新型实施例第二种进行供液的系统结构示意图;

图3为本实用新型实施例第三种进行供液的系统结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型实施例作进一步详细描述。

如图1所示,本实用新型实施例第一种进行供液的系统包括:

至少一个供液罐(1),至少一个存储液罐(2)和可编程控制器(PLC)(6),其中,每个供液罐(1)中有一个液位传感器(4),每个供液罐(1)与一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)相连,且一个液泵(3)和一个压力控制阀(5)仅与一个供液罐(1)相连;

其中,供液罐(1)中的液位传感器(4),用于监控供液罐(1)中液体的液位,在液位小于第一设定高度时,向可编程控制器(6)发送注液信号,在液位大于第二设定高度时,向可编程控制器(6)发送停止注液信号,第一设定高度小于第二设定高度;

可编程控制器(6),用于在收到注液信号后,向与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)发送停止加压信号,以及向与供液罐(1)相连的液泵(3)发送工作信号,在收到停止注液信号后,向与供液罐(1)相连的压力控制阀(5)发送开始加压信号,以及向与供液罐(1)相连的液泵(3)发送停止工作信号;

与供液罐(1)相连的压力控制阀(5),用于在收到停止加压信号后,停止对供液罐(1)加压,并减小存储液罐(2)中的压力,在收到开始加压信号后,开始对供液罐(2)加压,将供液罐(1)中的液体注入外部设备中;

与供液罐(1)相连的液泵(3),用于在收到工作信号后,将存储液罐(2)中的液体注入到供液罐(1)中,在收到停止注液信号后,停止注入液体。

在具体实施过程中,第一设定高度和第二设定高度可以根据需要进行设定。

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