[实用新型]30对棒多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 200920242485.X | 申请日： | 2009-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN201512417U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610015 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 30 多晶 还原 | ||
【权利要求书】：
1.30对棒多晶硅还原炉，由底盘和炉体构成，在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出水口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，其特征在于在炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，分上、中、下三层120°均布。
2.根据权利要求1所述的多晶硅用还原炉，其特征在于电极数为30对，在底盘上分三圈在360°上均布，内圈为5对电极，中圈为10对电极，外圈为15对电极，底盘中心设有还原尾气的出气口，底盘上设有8个进气喷嘴：内圈和中圈电极之间相距180°设有2个进气喷嘴，中圈和外圈电极之间在360°上均匀分布6个进气喷嘴。
3.根据权利要求1所述的多晶硅用还原炉，其特征在于多晶硅还原炉高度大于3.0米。
4.根据权利要求2所述的多晶硅用还原炉，其特征在于多晶硅还原炉高度大于3.0米。
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