[实用新型]一种用于等离子体蚀刻制程的垫板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种垫板，具体涉及一种用于等离子体蚀刻制程的垫板。

背景技术

太阳能电池是一种半导体器件，其能够将太阳光的光能转换成电能，堪称当代清洁、无污染的可再生能源，备受人们的青睐。太阳能电池主要以半导体材料为基础制作，其工作原理是光电材料吸收光能后发生光电子转换反应而产生电流。

目前广泛采用的是硅太阳能电池，其制造工艺也已经标准化，主要步骤为：化学清洗及表面结构化处理(制绒)-扩散制结-周边刻蚀-沉积减反射膜-印刷电极-烧结。其中，周边刻蚀步骤一般采用等离子体蚀刻的方法，以去除上一步扩散制结得到的硅片边缘中多余的扩散磷。

在实际应用中，通常是将几百片硅片重叠在一起组成硅片组，然后在硅片组的上下两个面(顶面和底面)上设置垫板，再使用夹具上下夹持住，并用螺杆将夹具加紧，以达到紧固的目的；然后即可对硅片组进行等离子体蚀刻步骤。

然而，目前的垫板都是平板式结构，且一般由环氧树脂、聚丙烯或聚四氟乙烯制成。为了避免等离子体蚀刻过程中出现边缘夹不紧的情况，必须要求夹具、垫板和硅片同时具有很高的平整度，如果其中一项出现异常，必然导致蚀刻的产品蚀刻效果不均匀，以及出现钻刻现象，影响产品表面，这就给垫板的制作提出了很高的要求；此外，由于硅片本身存在不可预料的厚薄不均，这就直接导致夹具、垫板和硅片组三者之间连接不够紧密，中心和四周的受力不均匀，蚀刻完毕之后，产品会受到不可恢复的损伤。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于等离子体蚀刻制程的垫板，以提高夹具、垫板和硅片之间的紧密性，防止钻刻现象。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于等离子体蚀刻制程的垫板，包括一本体，所述本体的上下两个面中至少一面的边缘四周设有连续闭合的凸筋，所述凸筋和本体是一体结构。

上文中，所述连续闭合的凸筋的形状与硅片的外形匹配，一般为长方形，也可以是其他闭合形状，闭合凸筋压在硅片组的四周边缘，起到封闭硅片表层或底层的作用；同时由于凸筋和垫板本体均具有一定得塑性，可以使夹具、垫板和硅片组三者之间连接紧密，防止钻刻现象。

上述技术方案中，所述凸筋的宽度为1～10mm，厚度为0.5～10mm。

优选的技术方案是，所述凸筋的宽度为2～5mm，厚度为0.5～2mm。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型在垫板上设置连续闭合的凸筋，使闭合凸筋压紧于硅片组上，利用凸筋和垫板本体的塑性使夹具、垫板和硅片组三者之间连接紧密；同时也提高了垫板与相邻硅片之间的密封性，从而防止了钻刻现象。

2、本实用新型结构简单，易于加工制作，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的俯视图；

图2是本实用新型实施例一的主视图；

图3是本实用新型实施例一的剖视图；

图4是本实用新型实施例一的使用状态示意图。

其中：1、凸筋；2、垫板；3、夹具；4、硅片组；5、螺杆。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1～4所示，一种用于等离子体蚀刻制程的垫板，包括一本体，所述本体的上下两个面中至少一面的边缘四周设有连续闭合的凸筋1，所述凸筋和本体是一体结构。所述凸筋的宽度为1～10mm，厚度为0.5～10mm。

上文中，所述连续闭合的凸筋的形状与硅片的外形相似，大致为长方形，闭合凸筋压在硅片组的四周边缘，起到封闭硅片表层或底层的作用；同时由于凸筋和垫板本体均具有一定得塑性，可以使夹具、垫板和硅片组三者之间连接紧密，防止钻刻现象。

使用时，先将几百片硅片重叠在一起组成硅片组4，然后在硅片组4的上下两个面(顶面和底面)上设置垫板2，再使用夹具3上下夹持住，并用螺杆5将夹具加紧，以达到紧固的目的；然后即可进行上述的等离子体蚀刻步骤。