[实用新型]多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，其包括炉体和底盘(3)，其特征在于，在底盘(3)上均匀设置36对电极(11)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极(11)在所述底盘(3)上分三个圆周均匀设置。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉，其特征在于，在底盘(3)的最外一周设置18对电极(11)，中间一圈设置12对电极(11)，最内一圈设置6对电极(11)。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极(11)的正、负两极在底盘(3)上逐一间隔设置。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘(3)上还设有多个均匀分布的混合气体进气喷口(7)、以及一个或多个混合气尾气出气导管(8)。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述混合气体进气喷口(7)在所述底盘(3)上分三个圆周均匀设置，与所述电极(11)呈同心圆设置，在底盘的最外一周设置12个喷口，中间一圈设置6个喷口，最内一圈设置3个喷口。

7.根据权利要求5或6所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘(3)采用水冷式结构，其上设置冷却水进口(4)和冷却水出口(5)。

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体采用含夹套冷却水的钟罩式双层炉体(1)。

9.根据权利要求8所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述钟罩式双层炉体(1)设有炉体冷却水进水口(9)、炉体冷却水出水口(10)，以及在炉体壁内设有夹套冷却水导流板(13)。

10.根据权利要求9所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述夹套冷却水导流板(13)呈螺旋状布置。