[实用新型]减震装置

权利要求书

1.一种减震装置，安装于真空泵与真空腔体之间，所述减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，所述第一法兰及所述第二法兰均具有上表面与下表面，所述第二法兰的上表面与所述真空腔体密封连接，所述第一法兰的下表面与所述真空泵密封连接，所述波纹管具有第一开口端及第二开口端，所述波纹管的第一开口端与所述第一法兰的上表面密封连接，所述波纹管的第二开口端与所述第二法兰的下表面密封连接，所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构，所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，其特征在于：还包括气弹簧及螺母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述螺母具有与所述外螺纹相啮合的内螺纹，所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。

2.如权利要求1所述的减震装置，其特征在于：还包括第一弹性垫圈及第二弹性垫圈，所述气弹簧的连接部依次穿过所述第一弹性垫圈、安装孔及第二弹性垫圈并与螺母啮合。

3.如权利要求1所述的减震装置，其特征在于：所述波纹管为金属波纹管。

4.如权利要求1所述的减震装置，其特征在于：所述波纹管的所述第一开口端与所述第一法兰的上表面密封焊接，所述波纹管的所述第二开口端与所述第二法兰的下表面密封焊接。