[实用新型]光学靶标及其加工设备

权利要求书

1.一种光学靶标，其特征在于：所述光学靶标上光栅的周期范围为：0.05毫米～1毫米。

2.一种权利要求1所述的光学靶标的加工设备，包括激光切割装置(1)和激光切割辅助气体供应装置，所述辅助气体供应装置包括普通气体发生装置(2)、设于普通气体发生装置(2)气体输出管道上的普通气体净化装置(3)，其特征在于：所述辅助气体供应装置还包括液氧发生装置(4)以及将液氧发生装置(4)产生的液氧汽化的液氧汽化装置，所述液氧汽化装置和普通气体净化装置(3)的输出端分别通过气体调节阀(6)与激光切割装置(1)的辅助气体输入端连通。

3.根据权利要求2所述的光学靶标的加工设备，其特征在于：所述液氧汽化装置包括设于液氧发生装置(4)内的蒸发器以及在液氧发生装置(4)的输出管路上设置的气体发生器(5)。