[实用新型]太阳能电池扩散用源瓶

说明书

技术领域

本实用新型属于光电技术领域，具体涉及一种太阳能电池片生产过程中的掺杂杂质源(POCL₃)安全有效的保存的扩散用源瓶。

背景技术

在太阳能电池片生产中，需要将P型衬底硅片表面通过高温扩散方式形成一薄层N型层，从而形成太阳能电池所必须的PN结。目前掺杂杂质源多是存放于石英源瓶中，并通过高纯氮气携带进入工艺反应。现有的源瓶为石英玻璃部件，使用中容易出现炸裂。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种POCL₃液态源存放瓶。

本实用新型包括圆筒形的石英瓶本体，石英瓶本体内竖直设置有进气管和出气管；进气管的一端距离石英瓶本体瓶底4～6mm，另一端与进气四氟软接头连接；出气管的一端伸入石英瓶本体6～8mm，另一端与出气四氟软接头连接；石英瓶本体顶部设置有充装口。

本实用新型结构简单，进气管与出气管通过四氟软接头连接，充装口同样采用四氟活接密封，有效避免了进出气口断裂现旬象的发生。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，太阳能电池扩散用源瓶包括硅圆筒形的石英瓶本体4，石英瓶本体4内竖直设置有进气管6和出气管3；进气管的一端距离石英瓶本体瓶底4～6mm，另一端与进气四氟软接头1连接；出气管3的一端伸入石英瓶本体6～8mm，另一端与出气四氟软接头2连接。石英瓶本体顶部设置有充装口5，用来充装工艺用POCL3液体。