[实用新型]镀银反射镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学技术，特别是涉及一种在投影机，照相机，显微镜，望远镜，复印机，聚光型太阳电池等光电机器上使用的反射镜技术，更具体的说是针对有银层的高反射银镜的耐环境性能的改良技术。

背景技术

Ag膜作为一种高反射率的反射镜，在照相机，复印机，显微镜，打印机，放映机，聚光型太阳电池等各种光学机器中被广泛地使用。然而，用于投影机中、聚光型太阳能电池上的银反射镜，必须在高温等恶劣条件下长时间使用；在梅雨季节，则必须长时间暴露在高湿度的状态下。因此，广泛需求一种拥有耐高温高湿的，耐环境特性出色的Ag反射镜产品。

作为具体的例子，例如，长时间在高温高湿的环境下使用，反射层的Ag膜层和其上下膜层间不能发生剥离，浮起，或破裂等的缺陷；而且Ag膜层不能因为自身的氧化等引起反射率降低。为了得到这样耐久性出色的银镜，人们提出了各种各样的解决方案。例如，日本特开平2003-4919号公报公布的名称为：高反射镜的专利文献1和日本特开平07-281013号公报公布的名称为：反射镜的专利文献2，提出了以下的银反射镜：

专利文献1提出了由基板，Al₂O₃膜层，Ag膜层，Al₂O₃和TiO₂膜层构成的Ag反射镜膜系结构。专利文献1的银镜构造主要是提高基板和Ag膜层间的附着力，也提高银镜的耐腐蚀性。

专利文献2，在作为缓冲层的SiO₂膜层或Al₂O₃膜层与Ag膜层之间，又增加了由Cr或Ni金属膜层构成的缓冲层，以提高基板和Ag膜层之间的附着力。

但是专利文献1中的银镜，Ag膜层的附着力还不充分，象投影机用的反射镜、聚光型太阳能电池的反射镜的器件，由于长时间在高温高湿的环境下使用，Ag膜层会逐渐氧化发雾，造成反射率降低。

另外在Al₂O₃膜层和TiO₂膜层之间，会逐渐扩散结晶，出现发雾现象，从而造成银反射镜的反射率降低。

为解决上述专利文献1中的问题，专利文献2是为提高基板和Ag膜层间的附着力，在缓冲层SiO₂膜层或Al₂O₃膜层与Ag膜层之间又增加了由Cr和Ni金属膜层作为粘结层。但这又会出现以下问题：

在用Cr膜层作为粘结层时，Ag膜层与基板的附着力得以提高，但是在高温下，如在100℃以上使用的时，Ag膜层的反射面会逐渐发黑，耐环境特性比用Ni膜层作粘结层差。反过来若用Ni膜层作粘结层，虽然可以提高耐环境特性，但是对下层的附着力与使用Cr膜层相比又差了。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能提高Ag膜的附着力，又能防止Al₂O₃膜层和TiO₂膜层之间扩散发雾，具有耐环境腐蚀性能的镀银反射镜。

为了解决上述技术问题，本实用新型所提供的一种镀银反射镜，其特征在于，包括基板、在所述基板上沉积的下缓冲层、在所述下缓冲层上沉积的Ni-Cr合金层(金属膜层)、在所述Ni-Cr合金层上沉积的Ag膜层、在所述Ag膜层上沉积的Al₂O₃膜层、在所述Al₂O₃膜层上面沉积的SiO₂膜层，在所述SiO₂膜层上沉积的TiO₂膜层(增反射膜层)。

进一步的，所述下缓冲层为Al₂O₃膜层。

进一步的，所述下缓冲层为介质膜层和Al₂O₃膜层，其中介质膜层沉积于基板上。

进一步的，所述介质膜层为SiO₂、TiO₂膜层或SiO膜层等。

进一步的，所述Ni-Cr合金层中Cr合金的比率在1％～20％之间。