[实用新型]块状金属材料扫描电镜样品台

说明书

技术领域

块状金属材料扫描电镜样品台，属于测量仪器实验设备领域，具体涉及一种用于扫描电镜的样品台。

背景技术

扫描电镜是利用电磁透镜来扫描成像的，对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受磁场的影响，但在内部磁场的作用下，即使是非磁性试样也有可能被磁化。传统用于做扫描(SEM)和能谱(EDS)的样品台，包括安装样品座的圆台和用于将圆台安装在扫描电镜样品室上的底座，其样品座是直接插入圆台的孔中而没有相应的固定措施，由于样品座距离电子枪的极靴非常近，被磁化了的样品座及样品座上的样品就有可能被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害，因此对样品及样品座的固定至关重要。另外，这种样品台的圆台与底座、底座与扫描电镜样品室的安装位置不易对准，容易损坏扫描电镜的分子泵。而专门用于做电子背散射衍射(EBSD)的样品台，包括一圆台底座，圆台底座的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设一插电子背散射衍射专用座的圆孔，专用座插入圆孔后，样品座再安装到专用座的插孔中固定，由于这种样品台的圆台底座一次只能插一个样品座，测试一个样品，测试效率低。以上两种样品台通用型差，因此需要操作人员根据不同的测试需要经常进行更换，增加了操作的失误率。为克服以上缺陷，本发明人曾在2007年设计了两种安装方便、通用性强的扫描电镜样品台，并申请实用新型专利(专利号ZL200720157035.9和ZL200720157036.3)。但这两种样品台仍存在着以下问题：1、对块状金属样品的平整度及厚度尺寸要求仍然较高，为了电镜操作的安全性，测试时要求块状金属样品平而薄，这就提高了金属样品的制备难度，特别是尺寸较小的块状金属样品研磨和抛光难度都很大，若是镶嵌的话，又会影响电镜的真空度；2、定位不好，样品通过导电胶直接黏附在样品座表面，当样品台上同时放置多个样品座时，其在样品台的准确位置不易寻找；2、对样品座的固定依然不够安全、牢固。目前，关于不锈钢、耐热钢等各种类型的钢铁的研究非常普遍，这些材料主要为块状，且不易对其形状进行改变，为此本发明人对原有的扫描电镜样品台进行改造，设计并申请一种块状金属材料扫描电镜样品台。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种可直接同时安放多个块状金属材料样品，安装方便，样品固定牢固的块状金属材料扫描电镜样品台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：块状金属材料扫描电镜样品台，其特征在于：加设有样品隔板，样品隔板与样品台配合使用，样品台为“凹”形，中心设有定位螺栓孔，边沿均匀布有紧固螺纹孔，样品隔板中心设有与样品台中心对应的定位螺栓孔，四周均布有多个扇形隔板。

样品隔板四周均布的扇形隔板为3个或3个以上。

与现有技术相比，本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台所具有的有益效果是：

1、对金属材料平整度及厚度的要求较低，即使块状金属材料样品厚度较大、底面不够平整，也可直接将其放入样品台内加以固定，降低了对金属形状的要求，使不易加工的金属材料也可方便测试。

2、通用性强，做SEM和EDS实验时，可直接借用圆台底座作为固定座，不必因做不同实验而频繁安装更换样品台，防止损坏仪器；

3、安装简单、定位准确，样品台可通过沉头螺栓直接固定在圆台底座上，安装部件少，保证定位误差小，与样品隔板配合使用，可准确确定样品位置；

4、样品座固定牢固，结构简单，通过样品台边沿的紧固螺钉与样品隔板配合，将块状金属材料样品固定在样品台内，防止被磁化了的样品座及样品座上的样品被吸到电镜的核心部位极靴上而对电镜造成致命危害。

附图说明

图1是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台实施例1安装俯视图结构示意图。

图2是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台实施例1样品隔板结构示意图。

图3是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台实施例1安装结构剖视图示意图。

图4是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台实施例2安装俯视图结构示意图。

图5是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台实施例2样品隔板结构示意图。

其中：1、样品台  2、样品隔板  3、紧固螺纹孔  4、定位螺栓孔。

下面结合附图1～5对本实用新型做进一步说明：

具体实施方式

实施例1

图1～3是本实用新型块状金属材料扫描电镜样品台的最佳实施例。

参照附图1～3：