[发明专利]镀膜原料收容装置无效
申请号: | 200910301852.3 | 申请日: | 2009-04-25 |
公开(公告)号: | CN101871090A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 裴绍凯 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 原料 收容 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种镀膜装置,尤其涉及一种镀膜原料收容装置。
背景技术
在传统的电子枪蒸镀镀膜过程中,通常将镀膜原料放置在一个坩埚内,该坩埚收容在一固定平台的收容槽内。镀膜时,通过电子枪打击坩埚内的镀膜原料至待镀设备上成膜。然而,使用上述方式镀多层膜时或者每次用完坩埚内的镀膜原料时,需要先将坩埚从收容槽内取出,然后更换镀膜原料,再将更换后的镀膜原料以及坩埚放入收容槽内,以供继续蒸镀。此过程步骤繁琐,耗费时间较长,使得镀膜效率较低,且由于镀膜过程不连续,影响镀膜质量。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种能够节省镀膜时间的镀膜原料收容装置。
一种镀膜原料收容装置,该镀膜原料收容装置包括一承载座、多个叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构。所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料。所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内。所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正。所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接。所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。
与现有技术相比,本发明的镀膜原料收容装置同时使用多个坩埚来放置镀膜原料,在用完坩埚内的镀膜原料后,可通过该升降机构将空的坩埚从该承载座内移至开口处,方便拿取,同时又能够将下一个坩埚移至镀膜位置,省去了重新放置坩埚的步骤,使得镀膜时间减少,且镀膜过程可以连贯进行。
附图说明
图1为本发明实施方式提供的镀膜原料收容装置与镀膜伞的示意图;
图2为图1的镀膜原料收容装置的承载座与坩埚的分解示意图;
图3为图2的镀膜原料收容装置的坩埚与支撑轴的分解示意图;
图4为图2的镀膜原料收容装置的剖视图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图1,为本发明实施方式提供的一种镀膜原料收容装置10,其用于一镀膜装置100中。该镀膜装置100包括所述镀膜原料收容装置10以及一镀膜伞20。该镀膜原料收容装置10用于收容镀膜原料30,其被固定在一固定平台(图未示)上。该镀膜原料收容装置10内的镀膜原料30经蒸发,可覆盖在该镀膜伞20的待镀膜元件(图未示)上成膜。
请结合图2至图4,该镀膜原料收容装置10包括一承载座11、多个坩埚12以及一升降机构13。所述坩埚12固定在所述升降机构13上且收容在所述承载座11内,所述升降机构13可驱动所述坩埚12沿着所述承载座11内壁升降。
所述承载座11包括一本体11a以及一盖体11b,所述盖体11b与所述本体11a活动连接。本实施方式中,所述本体11a呈圆筒状。具体的,所述本体11a包括一侧壁111以及一连接在所述侧壁111底部的底面112,所述侧壁111以及所述底面112围成一收容腔113,所述收容腔113用于收容所述多个坩埚12。与所述底面112相对的侧壁111一端形成有一开口114,所述开口114的直径与所述坩埚12的外径相等。所述盖体11b盖合在所述开口114上,且可相对所述开口114打开或闭合。本实施方式中,所述侧壁111内表面上设置有多个内螺纹115,所述盖体11b外侧壁设置有多个外螺纹116与所述内螺纹115对应螺合,使得所述盖体11b可通过旋转与所述本体11a螺接密封,或从所述本体11a上取下。所述盖体11b能够在非镀膜状态下密封该开口114,从而减少灰尘污染镀膜原料30。所述底面112上开设有一第一通孔117,所述第一通孔117的中心与所述开口114的中心对正。
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