[发明专利]低氧控制系统

权利要求书

1.一种低氧控制系统，包括依次连接的氮气输送装置、循环风 机和处理腔室，其特征在于，所述处理腔室外部还连接有循环管路和 氧气分析仪，所述氧气分析仪的一入口端与氮气输送装置连接，所述 循环风机上还安装有换气阀门；

所述处理腔室上连接有排气管路，所述排气管路上安装有排气 阀，所述氮气输送装置上包括有控制阀；

所述低氧控制系统还包括控制系统，所述控制系统的一端与氧气 分析仪连接，另一端与所述氮气输送装置上的控制阀连接，所述排气 阀与控制系统连接。

2.如权利要求1所述的低氧控制系统，其特征在于，所述氮气 输送装置上的控制阀为两个并联的二位二通换向阀。

3.如权利要求2所述的低氧控制系统，其特征在于，所述两个 并联的二位二通换向阀之一的后部还连接有流量计。

4.如权利要求3所述的低氧控制系统，其特征在于，所述腔室 还连接有压力检测装置，所述压力检测装置与控制系统连接。

5.如权利要求4所述的低氧控制系统，其特征在于，所述处理 腔室内还安装有过滤器和热交换器，所述控制阀与循环风机的管路之 间还连接有二位二通阀。

6.如权利要求1-5中任一项所述的低氧控制系统，其特征在于， 还包括立式氧化炉装置，所述处理腔室的上部与立式氧化炉的炉口相 连接。

7.一种用于权利要求5的低氧控制系统的操作控制方法，其特 征在于，包括以下步骤：

(1)开启循环风机、氮气输送装置上两个并联的二位二通换向 阀和排气管路上的排气阀以及氧气分析仪，同时补充氮气和排出处理 腔室内的气体；

(2)所述处理腔室内的氧气浓度低于第一阈值时，控制系统自 动关闭一个二位二通换向阀，保留与流量计相连的二位二通换向阀开 启；

(3)所述处理腔室内的氧气浓度低于第二阈值时，控制系统自 动关闭排气阀，控制系统控制通过流量计的氮气流量为 100-500L/min；

(4)所述处理腔室内的压力高于设定值时，系统自动开启二位 二通阀。

8.如权利要求7所述的低氧控制系统的操作控制方法，其特征 在于，所述氧气浓度的第一阈值为30ppm，所述氧气浓度的第二阈值 为10ppm，所述压力的设定值为5000mTorr。