[发明专利]使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪无效
| 申请号： | 200910190980.5 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101666681A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 张智海;莫祥霞;王伟;郭媛君 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/18 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400044重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 moems 闪耀 光栅 阵列 光谱仪 | ||
【权利要求书】：
1.使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：包括光源；
准直装置，使来自光源的光束平行；
光栅或棱镜，接收光束并使光束色散；
成像装置，将色散光束成像到MOEMS可动闪耀光栅阵列上，并将MOEMS可动闪耀光栅阵列反射的光束成像到探测器；
MOEMS可动闪耀光栅阵列及其驱动电路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可动闪耀光栅阵列，包括多个并列的MOEMS可动闪耀光栅，所述多个MOEMS可动闪耀光栅在驱动电路的控制下分组进行偏转动作，以选通不同谱带光束；以及
探测器，用于接收由可动闪耀光栅阵列的反射，并经成像装置成像的光束。
2.如权利要求1所述的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：所述光栅为平面反射光栅、凹面光栅或闪耀光栅。
3.如权利要求1所述的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：所述探测器为单点探测器。
4.如权利要求1所述的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：所述准直装置为准直透镜。
5.如权利要求1所述的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：所述成像装置为成像透镜。
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