[发明专利]具有透镜的表面发射和接收光子器件有效
申请号: | 200910161176.4 | 申请日: | 2004-10-14 |
公开(公告)号: | CN101656397B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | A·A·贝法尔 | 申请(专利权)人: | 镁可微波技术有限公司 |
主分类号: | H01S5/026 | 分类号: | H01S5/026;H01S5/125;H01S5/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 透镜 表面 发射 接收 光子 器件 | ||
1.一种半导体光子器件,包括:
基片;
外延沉积在所述基片上的半导体结构;
包括在所述结构中的光学传输介质,所述介质结合了用于生成激光的活性区,所述介质具有与所述基片成一角度的至少一个面;
在所述结构上的接触层,用于向所述结构提供欧姆触点,所述接触层部分地从所述结构上移去以提供所述面的区域中的孔;以及
安置在所述孔上的发散补偿透镜,用于补偿所述介质内的光束发散的效应,从而提供了提高的激光器效率,所述透镜被配置为接收所述激光并被成形为将所述激光的一部分从所述介质中发射出,以及将所述激光的剩余部分反射回所述介质。
2.如权利要求1所述的器件,其特征在于,所述至少一个面将光以一角度从所述介质定向到所述基片,并通过所述孔和所述透镜。
3.如权利要求2所述的器件,其特征在于,还包括与所述基片成一角度的、对于所述介质的第二面,所述接触层从所述结构上移去以提供所述第二面的区域中的第二孔。
4.如权利要求3所述的器件,其特征在于,还包括所述第二孔上的透镜。
5.一种表面发射光子器件,其特征在于,包括:
基片;
在所述基片上的外延沉积的光学传输半导体介质,所述介质结合了用于生成激光的活性区;
安置在所述介质的第一端的第一蚀刻面;
在所述介质的第二端处、且以与所述基片成一角度安置的第二面,用于将所述激光朝向所述介质的顶表面定向;以及
发散补偿透镜,用于补偿所述介质内的光束发散的效应,从而提供了提高的激光器效率,所述透镜安置在所述顶表面上用于接收所述生成的激光,所述透镜被成形为将所述激光的一部分从所述介质中发射出,以及将所述激光的剩余部分反射回所述介质。
6.如权利要求5所述的器件,其特征在于,所述第二面与所述基片成一角度,选择所述角度以将所述介质中的模态反射率最大化。
7.如权利要求6所述的器件,其特征在于,所述第二面与所述基片成大约45°的角度。
8.如权利要求5所述的器件,其特征在于,所述透镜具有一曲面,所述曲面具有被选择以使所述介质中的模态反射率最大化的半径。
9.如权利要求8所述的器件,其特征在于,所述第二面与所述基片成一角度,选择所述角度以使所述模态反射率最大化。
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