[发明专利]防镀膜影响的外部检出装置及溅镀装置

权利要求书

1.一种防镀膜影响的外部检出装置，其包含：

一讯号输出模块，其包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器产生一输出光；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管体，其固定置于该输出光的传输路径上；及

一讯号接收模块，其包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器与该发射器相对；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该输出光的传输路径上并接收该输出光。

2.如权利要求1所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于：该讯号输出模块及该讯号接收模块分别包含一调整座，两个该调整座分别对应连接该发射器及该接收器。

3.如权利要求1或2所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于：该输出模块防镀管及该接收模块防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程塑料类。

4.如权利要求3所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于：该输出光为红外线或雷射光线。

5.一种溅镀装置，其包含：

复数个连续接合的腔体，每一腔体包含一底座、一上盖以及一传动结构，该上盖盖合于该底座的一开放面，该传动结构固定设于该底座的一内表面，其中，该底座包含一个以上的玻璃窗口组，每一玻璃窗口组包含二成对的玻璃窗口，每一玻璃窗口密合固定于该底座的一侧腔壁并与成对的另一个玻璃窗口位置相对；

一个以上的承载盘，该承载盘于该传动结构传输而于各腔体之间移动，该承载盘的移动路径与该玻璃窗口组的位置对应；

一个以上的外部检出装置，每一外部检出装置包含一讯号输出模块以及一讯号接收模块，其固定结合于该底座并分别与两个成对的该玻璃窗口的位置对应，其中：

该讯号输出模块包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器固定设于该底座的外表面，其产生一输出光朝向对应的该玻璃窗口；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴；及

该讯号接收模块包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器固定设于该底座的外表面，其与该发射器相对并接收该输出光；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：该讯号输出模块及该讯号接收模块分别包含一调整座，两个该调整座分别对应连接该发射器及该接收器，且两个该调整座并分别与该腔体表面固定连接。

7.如权利要求5或6所述的溅镀装置，其特征在于：该输出模块防镀管及该接收模块防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程塑料类。

8.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于：该输出光为红外线或雷射光线。