[发明专利]陶瓷封装的片式石英晶体频率器件及其制造方法

权利要求书

1.一种陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方法，其特征在于， 该制造方法的具体步骤如下：

步骤一、根据产品平面尺寸要求，制作二片长宽尺寸完全一致的陶瓷片 分别作为上、下盖板待用，具体为：

(1)根据产品平面尺寸要求，制作二片长宽尺寸完全一致的陶瓷片， 其中一片作为上盖板待用；

(2)另外一片作为下盖板，利用喷沙方法在其中一面上形成m*n个列 阵下凹坑，其中，m≥1，n≥1；或制作一个带m×n个列阵通孔的孔板和一 底板并将两者粘结在一起构成下盖板；

(3)在上述陶瓷下盖板外侧无凹坑面印刷银浆，烧结后形成外电极；

(4)在陶瓷下盖板的内侧有凹坑面制备内电极待用；

步骤二、在下盖板凹坑内点上导电胶后，将石英晶片一端与导电胶粘合 后完全落位在下盖板凹坑内；当下盖板凹坑内的所有位置都贴满晶片后，放 到专用粘片工作台上和上盖板粘合，具体为：

(1)将石英晶片用导电胶分别粘到下盖板凹坑内的m×n个位置上；

(2)粘好晶片后，按产品电性能要求，对m*n个位置上的石英晶片的 谐振频率分别进行调整，使频率精度符合产品电性能要求；

(3)将粘合有晶片的下盖板放到粘片工作台上和上盖板粘合；为了加大 振动空腔，则可将上盖板制成一片带m×n列阵凹坑的陶瓷上盖板；

加热加压后，形成上、下盖板粘在一起的复合片；

步骤三、将复合片按产品尺寸要求，切割成产品单元；

步骤四、引出产品单元的内电极，形成独石型片式器件：将切割后的产 品单元装入专用蒸发夹具，进行端面电极蒸发，使内电极和外电极导通。

2.根据权利要求1所述的陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方 法，其特征在于，所述步骤一还包括在上盖板的一个表面利用喷沙方法形成 m×n个和下盖板凹坑对应的上盖板凹坑。

3.根据权利要求2所述的陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方 法，其特征在于，所述步骤一之(2)中下盖板制作包括在形成下盖板凹坑 后，再次形成一个上凹坑。

4.根据权利要求3所述的陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方 法，其特征在于，所述步骤一之(2)还包括同时在下盖板的每个下凹坑中 形成二个突起的支架。

5.根据权利要求4所述的陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方 法，其特征在于，所述步骤一还包括：在下盖板内电极处设电极凹坑，电极 凹坑中用银浆印刷制备附加内电极，电极凹坑的深度不小于附加内电极的厚 度。

6.根据权利要求5所述的陶瓷封装的片式石英晶体频率器件的制造方 法，其特征在于，所述步骤一还包括在下盖板凹坑内形成防溢凹坑和电极凹 坑；在上述陶瓷下盖板外侧和内侧电极凹坑内印刷银浆，烧结后分别形成外 电极和附加内电极。