[发明专利]光盘制造方法、原盘制造方法和光盘

说明书

相关申请的交叉参考

本发明包含于2008年4月21日向日本专利局提交的日本优先权专利申请JP 2008-110468的主题，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及优选地用于制造高密度光盘的光盘制造方法、原盘制造方法和光盘。

背景技术

近年，随着光盘记录密度的增大，例如，Blu-ray(蓝光光盘)正作为高密度光盘而变得流行。

对于已被广泛使用的DVD(数字通用盘)，一个DVD(一个记录层)的记录容量是4.7GB(千兆字节)。相反，一个蓝光光盘的记录容量是25GB，其记录容量显著增大。

通过在原盘的制作处理中产生更微细的凹坑图样，使记录密度的这种增加成为可能。

在直到DVD生成的传统原盘制作处理中，在光子模式下使暴露给激光的有机抗蚀剂感光。

光子模式下的记录区域与曝光光点直径成比例，并且所得到的分辨率约等于光点直径值的一半。曝光光点直径φ用φ＝1.22×λ/NA来表示，其中，λ表示激光波长，以及NA表示透镜数值孔径。

相反，在蓝光光盘的原盘制作处理中，通过使用基于无机材料的抗蚀剂来执行切割，这可能会显著增加分辨率。

以下将使用无机材料的抗蚀剂称为“无机抗蚀剂”。

日本未审查专利申请公开第2003-315988号披露了关于使用无机抗蚀剂的原盘制作处理的技术。

在加热模式下使无机抗蚀剂感光。在加热模式下，只有曝光光点中心附近的高温部分有助于记录，因而能够提供更微细的图样。在不使用DUV(深紫外)波长激光的情况下，加热模式处理可使用蓝色半导体激光来提供充足的分辨率。此外，由于半导体激光允许约千兆赫的高速调制，所以用于将信号记录到相变盘和磁光盘的写入策略的使用能够精细地控制凹坑形状，并因而能够提供更有利的信号特性。

在这种写入策略中，通过多个脉冲高速记录一个凹坑，并且调整每个脉冲的脉宽、强度和脉冲间隔能够实现最佳记录。此外，使用无机抗蚀剂，由于曝光部分被通常已被使用的碱性显影所溶解，所以处理不会变复杂。

发明内容

作为一个用于评价光盘质量的方案，可以使用再生信号评价。

通常，光盘的再生采用通过半导体激光照射光盘并检测其返回光的系统。通过精确地再生所记录的数字信号来评价信号特性。

对于具有25GB记录容量的只读蓝光光盘(具有模压凹坑的ROM蓝光光盘)，标准规定光盘在再生期间以4.92m/s的线速度旋转且一个时钟周期为15.15ns。另外，光盘具有2T～8T(30.30ns～121.20ns)的凹坑和间隙(space)(T表示通道时钟周期)。

图8示出了模拟示波器上的再生波形(所谓的“眼孔图样”)。

由于减小了凹坑和间隙的凹部/凸部间隔，所以只读光盘更容易受到衍射效应的影响，因此，MTF(调制传递函数)下降，并且调制也减少。因此，最小振幅为2T信号的振幅。

在图8中，I8H表示8T图样的峰值电平，I2H表示2T图样的峰值电平，I2L表示2T图样的谷底电平，以及I8L表示8T图样的谷底电平。

在实际的再生装置中，被检测为模拟信号的波形被非线性均衡器放大，校正取决于凹坑长度的振幅差，并通过将阈值设置为振幅中心附近的特定电压电平来将信号二值化为0和1。

作为信号评价的指标，主要使用抖动、不对称和调制。

具有了标准偏差σ和1T，将抖动表示为σ/T，这表示与基准时钟的偏移。

可以说，随着抖动值的增加，再生信号劣化。用于具有一个记录层的只读蓝光光盘的标准规定了抖动应为6.5％以下，自然更期望更低的抖动。

不对称用{(I8H+I8L)-(I2H+I2L)}/{2(I8H-I8L)}表示，这代表8T信号和2T信号的中心轴的位移。不对称是确定数字化阈值的重要指标。虽然蓝光光盘的标准规定不对称为-10％～15％，但通常期望不对称为约0％～10％。

调制用(I8H-I8L)/(I8H)表示。这代表8T的振幅大小，并用作取决于8T凹坑深度的指标。可以说，载波噪声比随着该指标值的增加而提高。

在蓝光光盘的制造过程中，如上所述来执行使用无机抗蚀剂的原盘制作来制造原盘，随后其被用于生产从中转印凹坑图样(具有凹坑和间隙的记录信号图样)的压模。

随后，将压模用于大量生产光盘。