[发明专利]双折射测定装置和方法、以及薄膜生产系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种双折射测定装置以及双折射测定方法，特别涉及一种在塑料树脂薄膜的制造工序中准确地测定薄膜的双折射特性的双折射测定装置、双折射测定方法、薄膜生产系统以及薄膜生产方法。

背景技术

在对液晶显示器等中使用的塑料树脂薄膜进行制造时，优选在制造工序内，测量薄膜的取向轴及延迟量等双折射特性，基于测量结果，对工序条件进行控制。这样，通过对工序条件进行反馈，可以稳定地制造具有所期望的性能的薄膜，其结果可以实现显示器的高性能化、高品质化。

在专利文献1中记载有下述延迟量测量装置，其通过使用彼此具有不同波长的至少两种光来扩大测量范围，通过对测量了延迟量的位置处的试样厚度进行测量，把握试样在移动方向上的厚度波动和宽度方向上的厚度变化，从而可以准确地测量双折射。根据专利文献1的装置，由于可以识别由厚度变化引起的延迟量变化，所以可以迅速且可靠地把握工序变动。

另一方面，已知延迟量受到在传送中的薄膜上施加的张力的影响，在制造工序内测量的延迟量并不一定是对薄膜原本的值进行了准确地测量。与此相对，在专利文献2中记载有一种装置，其使在薄膜的前进方向上施加的张力在宽度方向上的分布恒定而测定延迟量，从测定值中减去由张力引起的变化量，从而近似为无负荷状态下的延迟量的值。根据专利文献2的装置，对于生产线中的相位差薄膜的延迟量，可以得到与在无负荷状态下测定出的延迟量相同的测定结果，所以可以容易地基于测定结果进行生产条件的调整。

专利文献1：特开平11—326190号公报

专利文献2：特开2001—4535号公报

发明内容

近年，已知除了薄膜的厚度及张力之外，薄膜的含水率也会使延迟量测定值发生变化这一事实。薄膜含水率由于受薄膜原材料的特性、制造工序中的加热、干燥工序、以及薄膜传送时周围的温湿度环境的影响而变化，所以随着是在制造工序的哪个工序中测定延迟量，对测定值的影响程度发生变化。因此，为了基于延迟量测定值来判断薄膜性能并变更工序条件，重要的是获知在测定延迟量时的薄膜含水率。

但是，在专利文献1及专利文献2所记载的装置中，存在下述问题，即，无法判断制造工序中的延迟量测定值的变化是由薄膜含水率的影响引起的，还是薄膜自身的延迟量性能发生了变化。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其提供一种准确地测定被测定试样的双折射特性的双折射测定装置、双折射测定方法、薄膜生产系统以及薄膜生产方法。

为了达到上述目的，技术方案1中记载的双折射测定装置的特征在于，具有：延迟量测定单元，其将光入射至被测定试样而测定所述被测定试样的延迟量；含水率测定单元，其测定所述被测定试样的含水率；以及校正单元，其基于所述测定出的含水率，对所述测定出的延迟量进行校正。

由此，可以消除含水率对延迟量的影响，可以准确地测定被测定试样的双折射特性。

技术方案2所示的特征在于，在技术方案1所记载的双折射测定装置中，所述含水率测定单元对所述延迟量测定单元的测定区域的含水率进行测定。

由此，可以适当地测定试样的含水率。

技术方案3所示的特征在于，在技术方案1或2所记载的双折射测定装置中，所述含水率测定单元使用红外吸收法来测定所述被测定试样的含水率。

由此，可以简单地对含水率进行测定。

技术方案4所示的特征在于，在技术方案1至3中任一项所记载的双折射测定装置中，具有：对所述被测定试样的单位厚度的含水率与单位厚度的延迟量的变化率之间的第1相关关系进行计算的单元；厚度测定单元，其测定所述被测定试样的厚度；基于所述测定出的含水率和所述测定出的厚度，对所述被测定试样的单位厚度的含水率进行计算的单元；以及根据所述计算出的被测定试样的单位厚度的含水率和所述计算出的第1相关关系，对所述被测定试样的单位厚度的延迟量的变化率进行计算的单元，所述校正单元基于所述计算出的单位厚度的延迟量的变化率，对所述测定出的延迟量进行校正。

由此，可以适当地消除含水率对延迟量的影响。

技术方案5所示的特征在于，在技术方案4所记载的双折射测定装置中，所述厚度测定单元对所述含水率测定单元的测定区域的厚度进行测定。

由此，可以适当地测定试样的厚度。

技术方案6所示的特征在于，在技术方案4或5所记载的双折射测定装置中，所述厚度测定单元使用红外吸收法来测定所述被测定试样的厚度。

由此，可以简单地对试样的厚度进行测定。