[发明专利]双折射测定装置和方法、以及薄膜生产系统和方法

权利要求书

1.一种双折射测定装置，其特征在于，具有：

延迟量测定单元，其将光入射至被测定试样而测定所述被测定试样的延迟量；

含水率测定单元，其测定所述被测定试样的含水率；以及

校正单元，其基于所述测定出的含水率，对所述测定出的延迟量进行校正。

2.根据权利要求1所述的双折射测定装置，其特征在于，

所述含水率测定单元对所述延迟量测定单元的测定区域的含水率进行测定。

3.根据权利要求1或2所述的双折射测定装置，其特征在于，

所述含水率测定单元使用红外吸收法来测定所述被测定试样的含水率。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的双折射测定装置，其特征在于，具有：

对所述被测定试样的单位厚度的含水率与单位厚度的延迟量的变化率之间的第1相关关系进行计算的单元；

厚度测定单元，其测定所述被测定试样的厚度；

基于所述测定出的含水率和所述测定出的厚度，对所述被测定试样的单位厚度的含水率进行计算的单元；以及

根据所述计算出的被测定试样的单位厚度的含水率和所述计算出的第1相关关系，对所述被测定试样的单位厚度的延迟量的变化率进行计算的单元，

所述校正单元基于所述计算出的单位厚度的延迟量的变化率，对所述测定出的延迟量进行校正。

5.根据权利要求4所述的双折射测定装置，其特征在于，

所述厚度测定单元对所述含水率测定单元的测定区域的厚度进行测定。

6.根据权利要求4或5所述的双折射测定装置，其特征在于，

所述厚度测定单元使用红外吸收法来测定所述被测定试样的厚度。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的双折射测定装置，其特征在于，具有：

传送单元，其传送所述被测定试样；

计算所述传送单元的传送量的单元；以及

控制单元，其基于沿所述被测定试样的传送方向配置的所述延迟量测定单元、所述含水率测定单元、以及所述厚度测定单元的各测定位置之间的距离、和所述计算出的传送量，对各测定单元进行控制，以使各测定单元对所述被测定试样的同一区域进行测定。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的双折射测定装置，其特征在于，具有：

对所述被测定试样上施加的张力与所述被测定试样的延迟量的变化率之间的第2相关关系进行计算的单元；

对在所述延迟量测定单元进行测定时所述被测定试样上施加的张力进行测定的单元；以及

根据所述测定出的张力和所述第2相关关系，对所述被测定试样的延迟量的变化率进行计算的单元，

所述校正单元基于所述计算出的延迟量的变化率，对所述测定出的延迟量进行校正。

9.一种薄膜生产系统，其特征在于，具有：

生产单元，其以规定的生产条件生产薄膜；

权利要求1至8中任一项所述的双折射测定装置；以及

基于通过所述双折射测定装置对由所述生产单元生产出的薄膜进行测定而得到的结果，变更所述规定的生产条件的单元。

10.根据权利要求9所述的薄膜生产系统，其特征在于，

所述规定的生产条件包含所述薄膜原材料的挤出量、所述薄膜的纵/横伸长率、所述薄膜延伸时的薄膜加热温度、以及所述薄膜延伸后的薄膜热处理温度中的至少1个。

11.一种双折射测定方法，其特征在于，具有：

延迟量测定工序，其将光入射至被测定试样而测定所述被测定试样的延迟量；

含水率测定工序，其测定所述被测定试样的含水率；以及

校正工序，其基于所述测定出的含水率，对所述测定出的延迟量进行校正。

12.一种薄膜生产方法，其特征在于，具有：

生产工序，其以规定的生产条件生产薄膜；

延迟量测定工序，其将光入射至所述生产出的薄膜而测定所述薄膜的延迟量；

含水率测定工序，其测定所述薄膜的含水率；

校正工序，其基于所述测定出的含水率，对所述测定出的延迟量进行校正；以及

基于所述校正后的延迟量，变更所述规定的生产条件的工序。