[发明专利]一种工艺控制方法及控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺技术领域，特别是涉及一种工艺控制方法及控制系统。 

背景技术

工艺控制是指通过分析工艺输入变量和输出变量之间的变化关系，利用工艺输出值来反馈调节工艺输入变量的方法。工艺的灵敏度分析，是指对工艺输入变量和输出变量之间的变化关系进行分析。工艺的灵敏度分析是工艺研发中非常关键的一项技术。近几年来，随着工艺制造技术的快速发展，工艺灵敏度分析的工作也开始变得愈加重要。针对具体的工艺过程，对输入变量和输出变量合理有效的进行灵敏度分析，不仅可以实现工艺调节的定量分析，还能大幅提高数据的利用效率，从而降低工艺研发的成本。 

现有的工艺灵敏度分析技术主要采用定性分析的方法，这类方法的基本思想是：对于两组工艺对比试验，只增加(或减少)输入变量x_i，若此时工艺输出变量y_j相应地增加(或减少)，则表示工艺输出变量y_j与输入变量x_i成正比；反之，当增加(或减少)输入变量x_i时，如果工艺输出变量y_j相应地减少(或增加)，则表示工艺输出变量y_j与输入变量x_i成反比。 

上述工艺灵敏度分析方法可以定性地分析出输入变量和输出变量之间的变化关系，因此对于一般的工艺趋势分析，上述方法基本能准确地分析出这种变化关系。然而，在进行工艺调节的实际过程中，除了要求知道工艺输入变量与输出变量的变化趋势，有时还必须知道输入变量与输出变量之间的定量的变化关系，即定量地给出输入变量x_i对输出变量y_i的影响程度：x_i每增加(或减少)一个单位，y_j会相应的变化多少。如果不能定量地分析出这种变化关系，就无法进行精确的工艺调节和控制。 

因此，目前需要解决的问题是：如何能够精确地实现工艺调节和控制，从而提高工艺数据的利用效率，降低工艺研发成本。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种工艺控制方法及控制系统，能够精确地实现工艺调节和控制，以提高工艺数据的利用效率，降低工艺研发成本。 

一种工艺控制方法，包括： 

预先建立工艺输入变量与输出变量之间的函数关系式，并确定所述函数关系式的系数； 

预置工艺基准输入变量值；按照预置的输入变量调节次序，利用所述函数关系式的系数逐个对所述基准输入变量值进行调节，每次调节之后，进行如下控制步骤： 

利用调节后的基准输入变量值测量真实输出变量值；判断所述真实输出变量值与工艺控制目标之间的误差是否达到控制精度，如果达到，则结束所述调节；如果未达到，则继续对基准输入变量值进行调节，直到达到控制精度； 

对其中一个基准输入变量值进行调节，具体包括：设定该一个基准输入变量值为β_i，调节后的该一个基准输入变量值为 对应该一个基准输入变量的关系式系数为a_i，上一次调节得到的真实输出变量值为Y₀，工艺控制目标为T，则： 

β^i=βi+Δβi=βi+T-Y0ai.]]>

优选的，所述对其中一个基准输入变量值进行调节之后，还包括：