[发明专利]基于微机电系统的阵列剥离技术

权利要求书

1.一种基于微机电系统的阵列剥离方法，具有待剥离材料、微孔阵列、可控膨胀材料、电脉冲点火电路、控制开关，其特征在于待剥离材料(1)的内表面加工多个微孔(3)，各个微孔之间通过环形微电极相互连通，构成微孔阵列(2)，环形微电极由外环微电极(4)和内环微电极(5)构成，可控膨胀材料镶嵌在每个微孔(3)的内部，由控制开关(7)接通电脉冲点火电路(6)，使环形微电极间瞬间产生电脉冲对可控膨胀材料点火施爆，实现待剥离材料(1)瞬间的剥离。

2.按照权利要求1所述的基于微机电系统的阵列剥离方法，其特征在于所述可控膨胀材料选用硝胺微爆粒药。

3.按照权利要求1或2所述的基于微机电系统的阵列剥离方法，其特征在于所述微孔阵列(2)的分布形式是矩形、或圆形、或棱形、或三角形或椭圆形。