[发明专利]涂胶机光刻胶管理系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备自动化，特别涉及一种涂胶机光刻胶管理系统。

背景技术

目前的涂胶机光刻胶管理系统，只能根据胶瓶空传感器取得的信号，显示待机、使用、空瓶等胶瓶的状态，提示操作工进行胶瓶更换，无法防止过期变质光刻胶的使用，从而导致无法有效检测到的光刻图形不良或后期良率降低。并且目前的涂胶机光刻胶管理系统主机只能转送生产控制主系统发送的开始制品作业指令到涂胶机，而不能转送生产控制主系统发送的停止制品作业指令到涂胶机，这样当涂胶机接收到光刻胶管理系统主机转送的生产控制主系统发送的开始制品作业指令进行制品涂胶作业后，如果生产控制主系统又发出的停止该制品作业的指令，由于光刻胶管理系统主机不能转送生产控制主系统发送的停止制品作业指令到涂胶机，涂胶机将继续进行制品涂胶作业直至完成，而生产控制主系统会判断为为该制品的该次涂胶已取消，可能会再次发送开始制品作业指令，不能避免涂胶机对部分制品进行两次涂胶的制品事故。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种涂胶机光刻胶管理系统，能防止过期变质光刻胶的使用。

为解决上述技术问题，本发明的涂胶机光刻胶管理系统，包括光刻胶管理主机、制品信号处理单元、胶瓶信号处理单元、胶瓶空传感器、胶信息阅读器、胶信息标签，涂胶机上放置的各胶瓶上都设置有胶信息标签，胶瓶上的胶信息标签上记载有该胶瓶中的胶的生产日期、种类信息，所述胶瓶空传感器取得涂胶机上放置的胶瓶的状态信息，所述胶信息阅读器读取胶瓶上的胶信息标签上记载的胶瓶中的胶的生产日期、种类信息，所述胶瓶信号处理单元将所述胶瓶空传感器取得的涂胶机上放置的胶瓶的状态信息及所述胶信息阅读器读取的胶瓶上的胶信息标签上记载的胶瓶中的胶的生产日期、种类信息传送到所述光刻胶管理主机，所述制品信号处理单元将涂胶机传来的制品信息传送到所述光刻胶管理主机，并将所述光刻胶管理主机转送的生产控制主系统发送的制品作业指令传送到涂胶机，所述光刻胶管理主机将所述制品信号处理单元传来的制品信息转送到生产控制主系统，并且接收生产控制主系统发送的制品作业指令，所述光刻胶管理主机包括存储器、光刻胶有效性单元、作业指令转送单元、信息显示单元，所述存储器中存储有各种胶的有效期信息，当胶瓶空传感器取得的一胶瓶的状态信息为使用状态时，所述光刻胶管理主机的光刻胶有效性单元根据胶信息阅读器读取的该瓶胶的种类及生产日期，以及存储的各种胶的有效期信息，判断该瓶胶是否过期，如果过期，则输出指令到作业指令转送单元，控制作业指令转送单元终止向涂胶机转送生产控制主系统发送的开始制品作业指令，可以同时输出指令到信息显示单元，控制信息显示单元输出停止制品作业告警信息在显示器上。

所述作业指令转送单元在向涂胶机转送一开始制品作业指令后，如果又接收到生产控制主系统发送的停止制品作业指令，则作业指令转送单元终止向涂胶机转送生产控制主系统后续发送的开始制品作业指令，并可以同时输出指令到信息显示单元，控制信息显示单元输出该瓶胶过期信息在显示器上。

本发明的涂胶机光刻胶管理系统，能够自动侦测光刻胶的空满状态并对光刻胶的使用期限进行管理，对过期的光刻胶从通信系统上进行禁止，当光刻胶超过有效期时，系统会报警并禁止制品使用该瓶光刻胶，从而确保制品的安全；并且该系统可以对涂胶机设备和生产控制主系统的通信进行控制，避免被禁止作业的制品发生二次涂胶作业，从而避免制品事故。

附图说明

下面结合附图及具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明的涂胶机光刻胶管理系统一实施方式示意图；

图2是胶瓶的状态示意图。

具体实施方式