[发明专利]基板湿式设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种湿式设备，特别是涉及一种用于基板刻蚀及清洗的设备。

背景技术

液晶显示器主要是由上、下两片玻璃基板组成，在玻璃基板的内表面上设有向液晶层施加电场用的透明电极，为控制电场设有相应的开关器件；为显示颜色在其中的一片玻璃基板上设有彩色膜；为使液晶分子沿特定方向取向，在玻璃基板的内表面制备有金属膜层，在经过曝光、蚀刻等工序后形成TFT作为开关进行控制。

对玻璃基板的金属膜进行蚀刻是液晶显示元件制造过程中的一项重要步骤，通常对金属膜进行蚀刻使用的是湿式刻蚀设备。图1是现有湿式设备的结构及传感器安装示意图，图2是图1中出口单元部分立体示意图。请参见图1和图2，现有湿式设备大致由入口单元11、工艺处理单元12、搬送单元13、出口单元14组成，基板由所述入口单元11送进工艺处理单元12进行刻蚀、水洗、干燥，然后通过搬送单元13送至出口单元14，搬送单元13一般由搬送滚轮102组成。

现有湿式设备出口单元14处一般设置有一光电传感器101检测基板位置。请参见图3，光电传感器101得到信号后传输到可编程逻辑控制器(PLC)，PLC 21对信号进行处理后进入下一步工艺流程。光电传感器101用于检测玻璃基板位置，因此仅在出口单元设置一个。

图4是现有设备出口单元处基板检测感应示意图。请参见图4，光电传感器101用于检测玻璃基板是否到达位置。搬送单元13主要使用搬送滚轮102搬送，滚轮分为上下两边，其上又带有圆环O-RING来增加摩擦系数保证搬送顺畅。由于上滚轮是利用重力来增加摩擦系数，从而可能会导致上下滚轮上的圆环错位而引起在玻璃基板经过时产生一个剪切力，这样会引起基板边角轻微的破损。有些基板的破损只发生在边角的微小区域，但是隐藏的基板暗伤可能会对后续工序产生不可预见的影响，需要尽早发现此类基板。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种基板湿式设备，能够及时检测湿式刻蚀设备可能导致的玻璃基板缺角损伤问题。

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种基板湿式设备，包括入口单元、工艺处理单元、搬送单元及出口单元，基板由所述入口单元送进工艺处理单元进行湿刻，然后通过搬送单元送至出口单元，其中，所述入口单元或出口单元的四个边角处设置有位置传感器，当基板放置其中时，所述四个位置传感器分别和基板的四个边角对准。

上述的湿式设备，其中，所述四个光电传感器设置在出口单元，所述四个光电传感器串联在一起。

上述的湿式设备，其中，所述四个光电传感器设置在入口单元，所述四个光电传感器并联在一起。

上述的湿式设备，其中，所述位置传感器为光电传感器。

本发明对比现有技术有如下的有益效果：本发明提供的基板湿式设备，通过在入口单元或出口单元的四个边角处设置位置传感器，能够及时检测湿式刻蚀设备可能导致的玻璃基板缺角损伤问题，避免有缺陷的基板进入后续工序。

附图说明

图1是现有湿式设备的结构及传感器安装示意图；

图2是图1中出口单元部分立体示意图；

图3是现有传感器电气示意图；

图4是现有设备出口单元处基板检测感应示意图；

图5是本发明湿式设备出口单元处基板检测感应示意图；

图6是本发明出口单元传感器串联示意图；

图7是本发明入口单元传感器安装位置示意图；

图8是本发明入口单元传感器并联示意图。

图中：

11入口单元    12工艺处理单元    13搬送单元

14出口单元    15基板            21PLC

101光电传感器    102搬送滚轮

具体实施方式

下面结合附图及典型实施例对本发明作进一步说明。

图5是本发明湿式设备出口单元处基板检测感应示意图。

请参见图1和图5，本发明的湿式设备包括入口单元11、工艺处理单元12、搬送单元13及出口单元14，基板15由所述入口单元11送进工艺处理单元12进行湿刻，然后通过搬送单元13送至出口单元14，其中，所述出口单元14的四个边角处设置有位置传感器，位置传感器可以选用光电传感器101。当基板15放置在出口单元时，所述四个光电传感器101分别和基板15的四个边角对准。