[发明专利]一种旋转陶瓷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种旋转陶瓷靶材的制备方法，其特征在于该制备方法如下：

(1)制备靶材前躯体

称取纯度不低于99wt％的金属氧化物粉体，装入模具，进行冷等静压，制得靶材前躯体，其中：

反应压力为130～230Mpa，

反应时间为20～70min；

(2)烧结

将步骤(1)中所得靶材前躯体放入烧结炉中，烧结致密，其中：

烧结温度为1000～1600℃，

烧结时间为40～85小时。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤(1)中加入纯度不低于99wt％的金属粉体，将金属粉体和金属氧化物粉体充分混合后，装入模具，进行冷等静压，制得靶材前躯体，其中：金属氧化物粉末的含量为90～99wt％，金属粉末的含量为1～10wt％。

3.如权利要求书2所述的方法，其特征在于：所述金属粉体为金属铌或金属钛粉体。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)中称取两种或多种金属氧化物粉体，充分混合后，装入模具，进行冷等静压，制得靶材前躯体。

5.如权利要求1或4所述的方法，其特征在于：所述金属氧化物粉体为氧化锌、氧化铝、五氧化二铌、五氧化二钽、二氧化钛、氧化镍、氧化铟锡或氧化钒粉体。