[发明专利]一种精密离子研磨机台及其样片夹

权利要求书

1.一种用于精密离子研磨机台的样片夹，其中，包括一个或多个夹片，所述一个或多个夹片能够在其所属平面内移动，以调整所述样片相对于所述精密离子机台的离子束的固定位置。

2.根据权利要求1所述的样片夹，其特征在于，所述样片夹还包括一个或多个控制装置，所述一个或多个控制装置用于控制所述夹片在其所属平面内移动。

3.根据权利要求2所述的样片夹，其特征在于，所述控制装置还包括：

一个或多个夹片底座，其所述一个或多个夹片底座具有第一轨道，使得所述夹片沿着所述第一轨道的延伸方向移动；

一个或多个连杆，所述连杆用于带动所述夹片沿着所述第一轨道的延伸方向移动，其中，所述连杆连接于所述夹片上。

4.根据权利要求3所述的样片夹，其特征在于，所述控制装置还包括第一固定阀，所述第一固定阀用于将所述夹片固定于第一轨道上。

5.根据权利要求3所述的样片夹，其特征在于，所述样片夹包括两个夹片，所述连杆包括一个横杆和两个竖杆，所述横杆的两端分别与所述两个竖杆的一端相连，所述两个竖杆的另一端分别连接于所述两个夹片，

所述横杆设置于所述样片夹的基体表面，并能沿着所述基体表面的与横杆平行的第二轨道滑行，

其中，所述第一轨道与所述第二轨道平行。

6.根据权利要求5所述的样片夹，其特征在于，所述控制装置还包括第二固定阀，所述第二固定阀用于将所述横杆固定于第二轨道上。

7.根据权利要求5所述的样片夹，其特征在于，所述横杆的长度的取值范围为4～9毫米；所述竖杆的长度的取值范围为1～3毫米。

8.根据权利要求3所述的样片夹，其特征在于，所述样片夹包括两个夹片，所述连杆包括两个横杆和两个竖杆，所述两个横杆的一端分别与所述两个竖杆的一端相连，所述两个竖杆的另一端分别连接于所述两个夹片。

9.根据权利要求8所述的样片夹，其特征在于，所述横杆的长度的取值范围为2～5毫米；所述竖杆的长度的取值范围为1～3毫米。

10.一种精密离子研磨机台，其中，包括权利要求1至9任一项所述的样片夹。