[发明专利]曝光装置以及器件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，在投影光学系统的像面侧形成液体的液漫区 域，并经由所述投影光学系统和所述液体将图形曝光在衬底上，该曝 光装置的特征在于，具备：

以包围构成所述投影光学系统的多个光学部件中与所述液体接 触的光学部件的侧面或保持该光学部件的保持部件的侧面的方式设 置，并且具有液体供给口和液体回收口中的至少某一方的环状部件； 以及

阻止液体浸入所述光学部件的侧面或所述保持部件的侧面和所 述环状部件内侧面之间的第一密封部件。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述第一密封 部件具有可挠性。

3.如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一 密封部件形成为环状，且具有安装在所述侧面和所述环状部件中的任 意一方上的主体部，和经由铰链部连接在所述主体部上、并与另一方 接触的接触部。

4.如权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述第一密封 部件中至少所述接触部具有可挠性。

5.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一密封 部件包括片状部件。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述第一密封 部件是疏液性的。

7.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述侧面和所 述环状部件的内侧面都是疏液性的。

8.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，具备阻止所述 光学部件和所述保持部件之间的气体的流通的第二密封部件。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，所述保持部件 保持所述光学部件以及所述多个光学部件；

所述第二密封部件阻止保持所述多个光学部件的所述保持部件 的内部空间和外部之间的气体的流通。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，所述保持部件 具有可动地支撑所述光学部件的支撑部；

所述第二密封部件设在所述支撑部附近。

11.如权利要求8至10中任一项所述的曝光装置，其特征在于， 所述第二密封部件具有：安装在所述光学部件和所述保持部件中的任 意一方上的主体部；和经由铰链部连接在所述主体部上、并与另一方 接触的接触部。

12.如权利要求11所述的曝光装置，其特征在于，所述第二密 封部件是可更换的。

13.如权利要求12所述的曝光装置，其特征在于，按照曝光光 的照射时间更换所述第二密封部件。

14.一种器件制造方法，其特征在于，使用权利要求1或9所述 的曝光装置。