[发明专利]由多种油墨形成光电传导器件的工艺

权利要求书

1.一种用于形成光电传导器件的工艺，该工艺包括：

(a)提供基底，该基底包括布置在硅层上的钝化层；

(b)沉积表面改性材料，该表面改性材料包括紫外线可固化材料；

(c)固化所述紫外线可固化材料以形成固化的材料；

(d)将包括至少一种金属纳米颗粒的组合物沉积到所述固化的材料的至少一部分上，该至少一种金属纳米颗粒包括金属或该金属的金属前体；以及

(e)加热所述固化的材料和所述组合物以使得所述固化的材料或所述组合物中的至少一种蚀刻所述钝化层的区域，并使得所述组合物形成与所述硅层电接触的光电传导器件的至少一部分。

2.如权利要求1所述的工艺，其中所述固化的材料抑制所述组合物的扩散。

3.如权利要求1所述的工艺，其中所述固化的材料包括蚀刻所述钝化层以形成蚀刻区域的蚀刻剂，且其中所述组合物沉积在所述蚀刻区域上。

4.如权利要求1所述的工艺，其中固化所述表面改性材料的步骤与加热所述组合物的步骤同时发生。

5.如权利要求1所述的工艺，其中所述紫外线可固化材料从由丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、乙烯醚和环氧树脂组成的组中选择。

6.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述组合物沉积在所述表面改性材料的至少一部分上。

7.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述组合物包括所述金属纳米颗粒。

8.如权利要求7所述的工艺，其中所述金属纳米颗粒包括该金属纳米颗粒上的连续的或非连续的覆盖物或涂层。

9.如权利要求8所述的工艺，其中所述覆盖物或涂层包括有机覆盖物或涂层、聚合物、本质上传导的聚合物、磺化的全氟代烃聚合物、聚苯乙烯、聚苯乙烯/甲基丙烯酸酯、双(2-乙基己基)磺基琥珀酸钠、四正辛基溴化铵、烷烃硫醇盐或PVP。

10.如权利要求8所述的工艺，其中所述覆盖物或涂层包括陶瓷材料，其中所述陶瓷材料包括多种金属氧化物的混合物，所述金属氧化物中的至少一种包括硅、锌、锆、铝、钛、钌、锡、铈、铅、锶、钠、钙、铋、硼、锂或磷的氧化物。

11.如权利要求8所述的工艺，其中所述覆盖物或涂层包括玻璃，且所述金属包括银。

12.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述组合物包括所述金属前体。

13.如权利要求12所述的工艺，其中所述组合物基本上不含有金属纳米颗粒。

14.如权利要求12所述的工艺，其中所述金属前体包括阴离子且所述阴离子蚀刻所述钝化层。

15.如权利要求1-10和12-14中的任一项所述的工艺，其中所述金属从由银、铜、金、钯、铂、镍、钴、锌、钼、钨、钌、钛以及其合金组成的组中选择。

16.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述表面改性材料和所述组合物中的至少一种还包括陶瓷颗粒，其中所述陶瓷颗粒包括多种金属氧化物的混合物，所述金属氧化物中的至少一种包括硅、锌、锆、铝、钛、钌、锡、铈、铅、锶、钠、钙、铋、硼、锂或磷的氧化物。

17.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述光电传导器件包括一组指线和与所述指线基本成直角地沉积的汇流条，其中平行的指线具有小于200微米的宽度，且所述光电传导器件具有大于0.5微米的厚度。

18.如上述权利要求中任一项所述的工艺，其中所述组合物通过从由石版画印刷、凹版印刷、柔性版印刷、照片模式印刷、按需滴落式印刷、注射器印刷以及气溶胶喷射、丝网印刷、直接写印刷或喷墨印刷组成的组中选择的方法沉积。