[发明专利]干涉仪设备及其运行方法

权利要求书

1.一种干涉仪设备，包括：

-干涉仪(10；100；1000；1000′)，具有干涉仪光源(11；111；351)，该干涉仪光源(11；111；351)发出的辐射能够分配到测量臂和参考臂(M，R)中，其中测量对象被布置在测量臂(M)中，并且干涉仪(10；100；1000；1000′)提供依赖于所述测量对象的位置的干涉仪信号(S_I1-S_I4)；以及

-检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂(M，R)中的空气的折射率的波动；

其特征在于，

所述检测装置包括光谱仪单元(50；150；250；250′；450)，其中光谱仪单元(50；150；250；250′；450)具有至少以下部件：

-光谱仪光源(51；151；251；351；451)，该光谱仪光源(51；151；251；351；451)发出的射束与干涉仪光源(11；111；351)的射束相叠加，并且该光谱仪光源(51；151；251；351；451)发出具有波长(λ_S)的辐射，该波长(λ_S)处于至少一个确定的空气成分(ε)的吸收线范围内；

-至少一个光谱仪探测器单元(52；520)，用于生成光谱仪信号(S_S1，S_S2)，该光谱仪信号(S_S1，S_S2)表征空气成分(ε)在测量臂和/或参考臂(M，R)中关于光谱仪光源波长(λ_S)的吸收。

2.根据权利要求1所述的干涉仪设备，其特征在于，所述检测装置进一步包括折射率确定装置(64)，该折射率确定装置(64)用于确定测量臂和/或参考臂(M，R)范围内的空气的标称折射率n(T₀，p₀，RH₀)。

3.根据权利要求1所述的干涉仪设备，其特征在于第一处理器单元(63)，在第一处理器单元(63)的输入侧施加光谱仪单元(50；150；250；250′；450)的光谱仪信号(S_S1，S_S2)，其中该处理器单元(PS)被构造为根据所施加的光谱仪信号(S_S1，S_S2)确定测量臂和/或参考臂(M，R)中的空气的折射率的波动并且提供第一处理器单元(63)的相应的输出信号(n_M，n_R)以用于继续处理。

4.根据权利要求2和3所述的干涉仪设备，其特征在于，在第一处理器单元(63)上附加地施加折射率确定装置(64)的输出信号(RH₀，T₀，p₀)，并且第一处理器单元(63)被构造为根据所施加的信号(S_S1，S_S2；RH₀，T₀，p₀)确定测量臂和/或参考臂(M，R)范围内的平均折射率(n_M，n_R)并且提供第一处理器单元(63)的相应的输出信号(n_M，n_R)以用于继续处理。

5.根据权利要求3或4所述的干涉仪设备，其特征在于修正单元(66)，在修正单元(66)的输入侧施加第一处理器单元(63)关于测量臂和/或参考臂(M，R)中的折射率的输出信号(n_M，n_R)以及第二处理器单元(65)关于光学光程差(OPD)的输出信号，所述光学光程差(OPD)由第二处理器单元(65)根据所施加的干涉仪信号(S_I1-S_I4)确定，其中修正单元(66)被构造为根据第一处理器单元(63)关于测量臂和/或参考臂(M，R)中折射率的输出信号(n_M，n_R)确定有效折射率(n_eff)并且结合光学光程差(OPD)处理该有效折射率(n_eff)，并且在输出侧提供关于测量臂(M)中的测量对象位置的经过修正的位置信号(GPD)。