[发明专利]用于多个样品的辐射度测量的设备和方法无效
申请号: | 200880110577.0 | 申请日: | 2008-08-29 |
公开(公告)号: | CN101821609A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 赖内·特雷普托;盖德·乔基姆·埃克特;安德烈亚斯·施依;赖内·施利塞尔;诺伯特·威特施夫 | 申请(专利权)人: | 艾本德股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 谢顺星 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 样品 辐射 测量 设备 方法 | ||
1.一种用于以辐射测量方式检测至少两个样品的N个样品辐射(N为大于1的自然数)的方法,该样品辐射由至少一个辐射元件的N个发射器元件的辐射引起,其中,在至少部分重叠的时间段内,所述N个发射器元件发出辐射,该方法包括以下步骤:
确定一N个基频的组,
将一个参考频率加到每一个所述基频上,其中,所述参考频率大于每一个所述基频,
利用N个所述参考频率与所述基频的和来提供N个调制信号,其中,每个调制信号用于调制不同发射器元件的辐射,
检测N个样品辐射作为和信号,其中,根据被调制的引起各个样品辐射的辐射来调制每个样品辐射,
使用解调方法解调所述和信号,
执行变换以将被解调的和信号从时间依赖信号转换为频率依赖信号,以及
根据所述基频,从所述频率依赖信号的振幅确定至少一个单个样品辐射的量。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述N个基频选自0kHz至1MHz的频率范围。
3.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,所述参考频率至少与所述基频中的每一个的2倍一样高。
4.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,其包括通过采样和A/D转换将所述和信号数字化的步骤和/或将所述被解调的和信号数字化的步骤。
5.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,其包括随时间对所述和信号求均值的步骤和/或对所述被解调的和信号求均值的步骤。
6.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,其包括在解调之前通过数字高通滤波器对所述和信号滤波的步骤。
7.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,所述解调方法通过将所述和信号乘以所述参考频率来解调所述和信号。
8.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,所述解调方法通过执行数字计算来解调所述和信号。
9.如前述权利要求至少之一所述的方法,其特征在于,实施子采样的步骤。
10.一种用于以辐射测量方式检测至少两个样品的N(N为大于1的自然数)个样品辐射的装置,该样品辐射由至少一个辐射元件的N个发射器元件的辐射引起,其中,在至少部分重叠的时间段内,所述N个发射器元件发出辐射,该装置具有:
控制设备,适于控制所述辐射元件以及使用N个基频来提供N个调制信号,其中,使用每个调制信号调制不同发射器元件的辐射;
至少一个检测设备,其适于在至少部分重叠的时间段内,检测至少两个样品的样品辐射作为和信号,
估算设备,其适于由所述和信号估算单个样品的样品辐射,
其中所述估算设备适于解调所述和信号,
以实施变换运算,从而将被解调的和信号从时间依赖信号转换为频率依赖信号,以及
根据所述基频,从所述频率依赖信号的振幅确定至少一个单个样品的辐射的量。
11.一种用于以辐射测量方式检测至少一个样品的N(N为大于1的自然数)个样品辐射的方法,该样品辐射由至少一个辐射元件的N个发射器元件的辐射引起,其中,在至少部分重叠的时间段内,所述N个发射器元件发出辐射,该方法包括以下步骤:
确定伪随机数的一个码序列,
以利用所述伪随机数的一个码序列形成的单个调制信号对将由所述N个发射器元件的每一个所发出的辐射进行调制,
其中,单个调制信号的伪随机码相对其它调制信号的伪随机码移位约至少一个比特,
检测所述N个样品辐射作为和信号,其中,根据被调制的引起各个样品辐射的辐射来调制每个样品辐射,
对所述和信号执行数学运算来对其解码,以及
由被解码的和信号确定至少一个单个样品辐射的量。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述伪随机数的码序列为金码。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾本德股份有限公司,未经艾本德股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880110577.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:微光刻投射曝光设备
- 下一篇:一种可调液位的漆包线涂油装置