[发明专利]用于真空处理系统的压力控制

说明书

背景技术

用于处理工具(例如半导体处理工具)的压力控制器通常执行在 工具的一个或多个真空室中的压力控制，以响应于实际的压力的测量结果。 目前，模拟通信链路被用作在这些压力控制器与压力传感器之间进行压力 信号通信，其中该压力传感器实际上执行压力测量。

在模拟通信链路被用作传输压力信号时，在模拟信号的接收端处 需要滤波。这减少了系统的带宽，其继而会限制压力控制的性能，特别地 在具有快速时间常数的真空系统中。在压力控制系统中的压力传感器与压 力控制器之间交换模拟信号时，由于非理想接地导致的噪声也会是一个问 题。

需要一种能够避免这些负面效应的压力控制系统和方法。

发明内容

一种用于工具的压力控制系统包括在压力传感器和压力控制器 之间的数字通信网络。将所述数字通信网络配置为在压力传感器和压力控 制器之间进行信号通信。将所述压力传感器配置测量在工具中的真空室之 内的压力。所述压力控制器响应于压力测量结果，压力传感器测量所述压 力测量结果并且将其经过所述数字通信网络发送到所述压力控制器，以控 制在所述真空室之内的压力以将在所述真空室中的压力维持在从所述工具 接收到的压力设定点。

根据本发明，提供了一种压力控制系统，包括：压力传感器，将其配 置为测量处理工具中的真空室之内的压力；压力控制器，将其配置为控制 所述真空室之内的压力；所述压力传感器与所述压力控制器之间的数字通 信网络，将所述数字通信网络配置为在所述压力传感器与所述压力控制器 之间对信号进行通信；其中，所述压力控制器响应于由所述压力传感器进 行的且通过所述数字通信网络发送到所述压力控制器的压力测量结果，以 控制所述真空室之内的压力，从而将所述真空室中的压力维持在从所述处 理工具接收到的压力设定点处；在工具控制器与所述压力控制器之间的第 一工具级通信链路，其中，将所述工具控制器配置为通过所述第一工具级 通信链路将所述压力设定点发送到所述压力控制器，以及分开的第二工具 级通信链路，配置为在所述压力传感器与所述处理工具之间传送与所述压 力控制系统的诊断信息及所述压力传感器的校准和调零相关的信号。

根据本发明，还提供了一种压力控制系统，包括：数字通信网络，将 其配置为在耦合到所述网络的设备之间对信号进行通信；耦合到所述数字 通信网络的多个(N)压力传感器，将所述多个压力传感器中的每一个均配 置为测量处理工具中的真空室之内的压力；耦合到所述数字通信网络的压 力控制器，将所述压力控制器配置为从所述工具接收压力设定点并且响应 于所接收到的设定点并响应于由每个压力传感器进行的且通过所述数字通 信网络从每个压力传感器发送到所述压力控制器的压力测量结果来控制所 述真空室之内的压力，由此将所述真空室中的压力维持在所述设定点处； 在工具控制器与所述压力控制器之间的第一工具级通信链路，其中，将所 述工具控制器配置为通过所述第一工具级通信链路将所述压力设定点发送 到所述压力控制器；以及分开的第二工具级通信链路，配置为在所述多个 (N)压力传感器与所述处理工具之间传送与所述压力控制系统的诊断信息 及所述多个(N)压力传感器的校准和调零相关的信号。

根据本发明，还提供了一种工具及相关压力控制系统，包括：工具， 其包括真空处理室和工具控制器，将所述工具控制器配置为生成工具控制 信号，所述工具控制信号包括提供用于所述真空处理室的压力设定点的至 少一个信号；压力传感器，将其配置为测量所述真空处理室之内的压力；压 力控制器，将其经过数字通信网络耦合到所述压力传感器，将所述压力控 制器配置为响应于通过所述数字通信网络从所述压力传感器接收的压力测 量结果并响应于由所述工具控制器提供的所述压力设定点来控制所述真空 室之内的压力，由此将所述真空室中的压力维持在所述压力设定点处，其 中，将所述数字通信网络配置为在所述压力传感器与所述压力控制器之间 对压力信号进行通信；以及在所述工具控制器与所述压力控制器之间的第 一工具级通信链路，其中，将所述工具控制器配置为通过所述第一工具级 通信链路将所述压力设定点发送到所述压力控制器；以及分开的第二工具 级通信链路，配置为在所述压力传感器与所述工具之间传送与所述压力控 制系统的诊断信息及所述压力传感器的校准和调零相关的信号。