[实用新型]一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种控制平面电铸金属沉积层均匀性的装置

背景技术

电铸产品的厚度均匀性是衡量电铸产品质量的关键指标之一。电铸过程中，由于电场的边缘效应，电铸产品边缘的电力线比其中部的电力线密集，因此电铸产品边缘的金属沉积速度比其中部的金属沉积速度快，从而造成边缘的沉积层比中部的沉积层厚，产生中间薄四边厚的厚度差异。

现有技术中，常采用在阴极与阳极之间设置屏蔽板方法来改善电场不均造成的电铸沉积层厚度分布不均匀的问题。设置屏蔽板的方法要经过大量的实验才能摸索出效果较好的屏蔽板布置方式，且改善电铸沉积均匀性的程度有限，一般可将电铸沉积均匀性控制在10％左右。

发明内容

为了解决现有技术中采用设置屏蔽板的方法克服电铸沉积层厚度不均匀的问题时改善电铸沉积均匀性的程度有限的技术问题，本实用新型提供一种改善平面电铸金属沉积层均匀性的装置，包括辅助阳极和阴极挂具，所述辅助阳极包括金属网12，所述阴极挂具包括阴极挂板62，所述金属网12和所述阴极挂板62分别形成第一柱面和第二柱面，所述第一柱面和第二柱面的曲导线为只有一个对称轴的轴对称平面曲线；所述曲导线均只有一个凸部，所述凸部的顶点在其曲导线的对称轴上，且所述凸部正对对方凸出；所述金属网12形成的第一柱面在与其轴线垂直的投影面上的投影面积不小于阴极在同一投影面上的投影面积；所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的夹角为70°～90°。

本实用新型的有益效果：

显著改善电铸沉积层的厚度不均匀性，将电铸沉积层厚度不均匀性控制在2％以内。

附图说明

图1-1根据本实用新型的第一种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的侧视图

图1-2根据本实用新型的第一种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的俯视图

图1-3根据本实用新型的第一种实施方式的镍网(金属网)弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

图1-4根据本实用新型的第一种实施方式的阴极挂板弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

图2-1根据本实用新型的第二种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的侧视图

图2-2根据本实用新型的第二种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的俯视图

图2-3根据本实用新型的第二种实施方式的镍网(金属网)弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

图2-4根据本实用新型的第二种实施方式的阴极挂板弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

图3-1根据本实用新型的第三种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的侧视图

图3-2根据本实用新型的第三种实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置的俯视图

图3-3根据本实用新型的第三种实施方式的镍网(金属网)弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

图3-4根据本实用新型的第三种实施方式的阴极挂板弯曲形成的柱面的曲导线形状示意图

11  辅助阳极调节杆

12  辅助阳极金属网

2   阳极筐

3   阳极

4   电铸槽

5   阳极导电杆

61  阴极挂杆

62  阴极挂板

7   阴极导电挂钩

8   阴极导电杆

9   阴极

10  锁紧滑块(或螺栓)

13  锁紧滑块(或螺栓)

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型。

根据本实用新型具体实施方式的改善电铸金属沉积层均匀性的装置，包括辅助阳极和阴极挂具，所述辅助阳极包括金属网12，所述阴极挂具包括阴极挂板62，所述金属网12和所述阴极挂板62分别形成第一柱面和第二柱面，所述第一柱面和第二柱面的曲导线为只有一个对称轴的轴对称平面曲线；所述曲导线均只有一个凸部，所述凸部的顶点在其曲导线的对称轴上，且所述凸部正对对方凸出；所述金属网12形成的第一柱面在与其轴线垂直的投影面上的投影面积不小于阴极在同一投影面上的投影面积；所述第一柱面和第二柱面的曲导线所在平面的夹角为70～90°。

所述只有一个对称轴的轴对称平面曲线的例子包括圆弧、椭圆弧、抛物线、双曲线等。若所述金属网12形成第一柱面的曲导线和所述阴极挂板62形成的第二柱面的曲导线均为抛物线，得到的电铸金属沉积层厚度均匀性较好，故优选所述金属网12形成第一柱面的曲导线和所述阴极挂板62形成的第二柱面的曲导线均为抛物线。