[实用新型]线切割机硅片收集槽无效
申请号: | 200820232270.5 | 申请日: | 2008-12-25 |
公开(公告)号: | CN201325127Y | 公开(公告)日: | 2009-10-14 |
发明(设计)人: | 马军正 | 申请(专利权)人: | 锦州日鑫硅材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 | 代理人: | 葛春波 |
地址: | 121000辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割机 硅片 收集 | ||
技术领域
本实用新型属于一种单晶硅生产过程中使用的线切割机硅片收集槽。
背景技术
在单晶硅生产过程中需要通过线切割机将硅棒切成硅片,切割后的硅片落入硅片收集槽中。在硅片下落至收集槽时会产生相互挤压、重叠,拾取时极易导致硅片破损。
发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题,提供一种可防止硅片下落后挤压、重叠,确保捡取时硅片完好无损的线切割机硅片收集槽。
本实用新型是这样实现的:它有一个槽体,在槽体两个端面设有扶手,其特殊之处是:在槽体内放置有支架,在支架上部设置有横向隔筋,在支架下部设置有纵向支撑筋。
本实用新型的优点是:通过设置在收集槽中的支架,可使被切割的硅片沿二个相邻的横向隔筋之间落入支架中并通过纵向支撑筋支撑,降低硅片下落高度,防止硅片挤压、重叠、平落,确保硅片完好无损,并且方便捡取。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图所示,本实用新型有一个槽体1,槽体1一端为活动门结构,在槽体1两个端面上设有扶手2,以便于取出单晶硅片。在槽体1内放置有支架3,在支架3上部沿水平方向设置有横向隔筋4,在支架3下部沿水平方向设置有纵向支撑筋5。
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