[实用新型]一种带定值气压释放安全阀的晶体生长炉

说明书

技术领域

本使用新型提供一种晶体生长炉，尤其是一种带定值气压释放安 全阀的晶体生长炉。

背景技术

现有的晶体生长设备，在工作时炉体内的环境相对于外界环境呈 现为负压、高温状态。如果因意外情况导致冷却水泄漏到炉体内，在 高温下冷却水会瞬间汽化转为气体，导致炉体内的气压急剧增大到超 过炉体外大气压，轻则可能导致晶体生长设备的损坏或其他危害晶体 生长设备稳定的情况，重则可能引起爆炸，危及人身安全。目前国内 制造的晶体生长设备，均未设计过压保护，设备的安全性存在很大隐 患，给晶体生长设备的使用安全性和使用寿命带来不利的影响。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的问题，本使用新型的带定值气压释放 安全阀的晶体生长炉，包括炉体，炉体为双层密封结构，夹层内有循 环冷却水，在晶体生长炉炉体的外部侧面设置有一个定值气压释放安 全阀，定值气压释放安全阀安装在设置于炉体外部的管道的接口处， 管道与炉体的内腔相通。

作为对本实用新型的改进，本使用新型的带定值气压释放安全阀 的晶体生长炉，定值气压释放安全阀包括带导向柱的盖板、定值弹簧、 压板以及拉杆，拉杆一端固装在管道的接口处的外缘上，另一端与压 板固定联接，盖板通过其上设置的定位孔与拉杆间隙配装，盖板上 的导向柱与压板上的导向孔间隙配装，在盖板与压板之间的导向柱上 套装有定值弹簧。

作为对本实用新型的进一步改进，本使用新型的带定值气压释放 安全阀的晶体生长炉，在管道与定值气压释放安全阀之间设置有密封 圈，在压板的导向孔内配装有带外缘的导套，盖板上的导向柱间隙配 装在导套的内孔内，导套的外缘固定在压板上。

采用此结构由于在炉体外设置有与之相通的定值气压释放安全 阀，就可以有效的防止炉体内高压时压力无法安全释放的情况，保证 炉体内的气压稳定，从而最大限度的减少不安全情况的出现。

附图说明

图1为本实用新型带安全阀的晶体生长炉的主视图。

图2为本实用新型带定值气压释放安全阀的晶体生长炉安全阀 的剖视图。

由图1、图2可知，本实用新型带安全阀的晶体生长炉，包括炉 体，炉体为双层密封结构，夹层内有循环冷却水，在晶体生长炉炉体 的外部侧面设置有一个定值气压释放安全阀1，定值气压释放安全阀 1安装在设置于炉体外部的管道2的接口处，管道2与炉体的内腔相 通，定值气压释放安全阀1包括带导向柱的盖板3、定值弹簧4、压 板5以及拉杆6，拉杆6一端固装在管道2的接口处的外缘上，另一 端与压板5固定联接，盖板3通过其上设置的定位孔与拉杆6间隙配 装，盖板3上的导向柱与压板5上的导向孔间隙配装，在盖板3与压 板5之间的导向柱上套装有定值弹簧4，在管道2与定值气压释放安 全阀1之间设置有密封圈7，在压板5的导向孔内配装有带外缘的导 套8，盖板3上的导向柱间隙配装在导套8的内孔内，导套8的外缘 固定在压板5上。

定值气压释放安全阀1所在管道2与炉腔相通，管道2内气压与 炉腔内气压相等，管道2的外界为一个大气压，炉腔内的工作气压小 于大气压，在正常工作的情况下盖板3因大气压力和定值弹簧4的压 力而自动封闭炉体内部与外界大气的联系。

当有冷却水泄露到炉体内时，冷却水会迅速蒸发成气体，致使炉 体内腔压力急剧升高，炉体内的压力逐渐高于外部大气压以及弹簧4 对盖板3的压力时，盖板3会受到一个向上的作用力而向外运动，炉 体内的气体与外部的大气接触，炉体内的气体外溢导致炉体内的压力 减小，压力减小过程中，盖板3逐渐的向回运动，当压力减小到一定 值时，盖板3再次将炉体内的气体与大气隔离。