[实用新型]一种带定值气压释放安全阀的晶体生长炉

权利要求书

1、一种带定值气压释放安全阀的晶体生长炉，包括炉体(9)， 炉体为双层密封结构，夹层内有循环冷却水，其特征在于：在晶体生 长炉炉体的外部侧面设置有一个定值气压释放安全阀(1)，定值气压 释放安全阀(1)安装在设置于炉体外部的管道(2)的接口处，管道 (2)与炉体的内腔(10)相通。

2、根据权利要求1所述的带定值气压释放安全阀的晶体生长炉， 其特征在于：定值气压释放安全阀(1)包括带导向柱的盖板(3)、 定值弹簧(4)、压板(5)以及拉杆(6)，拉杆(6)一端固装在管道 (2)的接口处的外缘上，另一端与压板(5)固定联接，盖板(3)通 过其上设置的定位孔与拉杆(6)间隙配装，盖板(3)上的导向柱与 压板(5)上的导向孔间隙配装，在盖板(3)与压板(5)之间的导向 柱上套装有定值弹簧(4)。

3、根据权利要求1或2所述的带定值气压释放安全阀的晶体生 长炉，其特征在于：在管道(2)与定值气压释放安全阀(1)之间设 置有密封圈(7)。

4、根据权利要求2所述的带定值气压释放安全阀的晶体生长炉， 其特征在于：在压板(5)的导向孔内配装有带外缘的导套(8)，盖 板(3)上的导向柱间隙配装在导套(8)的内孔内，导套(8)的 外缘固定在压板(5)上。