[实用新型]树脂更换装置有效
申请号: | 200820154500.0 | 申请日: | 2008-10-27 |
公开(公告)号: | CN201296686Y | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 王世明 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C02F1/42 | 分类号: | C02F1/42 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 更换 装置 | ||
1、一种树脂更换装置,用以将树脂储存装置中的树脂装入离子交换树脂设备,其特征在于,该装置包括:射流器、至少三个连接至射流器的导管、树脂存储装置及提供树脂引入媒介的媒介储存装置;其中
射流器基于至少两根导管分别连接至树脂储存装置及提供树脂引入媒介的媒介储存装置;以及射流器还连接有至少一根导管,用以从该导管输出树脂。
2、如权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括第一阀门;射流器通过导管连接至媒介储存装置的具体连接结构是:射流器通过导管连接至第一阀门,第一阀门通过导管连接至媒介储存装置。
3、如权利要求1或2所述的装置,其特征在于,还包括第二阀门;射流器用以输出树脂的导管连接该第二阀门的输入端,第二阀门的输出端连接有导管。
4、如权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述树脂引入媒介为液态水。
5、如权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述树脂存储装置为树脂桶。
6、如权利要求1或2所述的装置,所述离子交换树脂设备为离子交换树脂床。
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