[实用新型]多温区硅料提纯与铸锭真空炉

权利要求书

1.一种多温区硅料提纯与铸锭真空炉，其特征在于：所述多温区硅料提纯与铸锭真空炉，由坩埚、感应加热器和电阻加热体组成，感应加热器设于电阻加热体上面，其分别构成感应加热区和电阻加热区，感应加热器和电阻加热体的外面设有隔热保温层；坩埚的侧面设有护套，坩埚的口部设有石墨盖，坩埚的底部设有平台均热层、热开关和冷却装置，其共同构成坩埚系统，坩埚系统设于升降装置上，升降装置的上下移动使坩埚系统位于不同的加热区内；石墨盖上设有反应气体导入管，冷却装置上设有冷却气体导入管。

2.根据权利要求1所述的多温区硅料提纯与铸锭真空炉，其特征在于：所述感应加热区和电阻加热区以及炉顶和炉底均有测温元件。

3.根据权利要求1所述的多温区硅料提纯与铸锭真空炉，其特征在于：所述电阻加热体采用梯度加热体。