[实用新型]烘烤设备降温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种烘烤设备，尤其涉及一种于本体内装设液冷式冷却器，以达到降温效果且不影响本体的密闭状态的烘烤设备降温装置。

背景技术

在一般半导体或液晶显示器的相关制程中，对于一基板(substrate)、晶圆(wafer)、或显示面板(panel)的制备，烘烤(bake)或预烘烤(pre-bake)的过程是不可或缺的，通常是利用红外线等方式，在进行涂布(coating)前后以及显影(developingc)后，施以烘烤(bake)的程序。

现有的烘烤设备，依使用者需求而有不同类型，其中以低氧化烘烤设备来说，一般设有一烤炉室，该烤炉室外侧是包覆设有一循环室，该烤炉室与循环室之间设有风扇以及若干孔洞，且烤炉室外设有加热器，借由风扇吹出加热器所加温的热风，达到半导体制程所需要的水分干燥、溶剂挥发、热硬化处理、应力(回火)处理等程序，由于在烘烤过程中，往往并不需要较高含量的氧气，以避免烘烤物过度氧化，因此烤炉室与循环室对于外界是属密闭状态，并输入氮气进行烘烤流程；

在进行低氧化烘烤流程中，除了升温速率要加快、平均加温、以及换气速率要高之外，就是要具备有快速降温以及低含氧量；现有烘烤设备仅仅直接关闭加热器，借由持续不断送风，由烤炉室朝循环室进行循环流动，慢慢带走烘烤物的热能，以达到降温功效；然而，此种方式降温效率极差，由于进行低氧化烘烤，烤箱需与外界隔离，因此烤炉室内不断循环的气体是以相当慢的速度进行热交换，使得下一次烘烤流程必须耗费漫长时间等待前一次流程降温，如此整体生产流程皆必须因此停顿，十分不敷使用；因此有业者为了加快散热速度而额外加装排风设备，虽可达到加快降温的功效，但由于排风设备将热气排放出去同时与外界产生连通，使得烤炉室内的气体外泄，无法继续维持密闭状态，因此破坏整体的密闭效果，反而使得含氧量上升，无法维持低氧化环境，无法达到所需求的低氧化烘烤。

针对上述现有结构所存在的问题，如何开发一种更具理想实用性的创新结构，实为使用消费者所殷切企盼，亦是相关业者须努力研发突破的目标及方向。

实用新型内容

本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种烘烤设备降温装置，仅需切换冷却器或加热器，即可达到降温或是烘烤效果。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

为达成前述的创作目的，本实用新型其本体包括一循环室以及一烘烤设备内炉，其中：该循环室是设置于烘烤设备内炉内部，该循环室与烘烤设备内炉之间设有一风扇，且该循环室内两侧分别设有栅盘，该栅盘上是穿设有若干通风孔，该若干个通风孔是与烘烤设备内炉连通，该循环室内其中一侧的通风孔是与风扇连接，该循环室与烘烤设备内炉间具有空隙而设为风道，而该风道内设有一冷却器以及一加热器，该加热器启动时该冷却器是关闭，而冷却器启动时该加热器是关闭；而该冷却器为液冷式的冷却器，该冷却器是连接设有冷却水输出端、冷却水输出端设有一阀门以连接冷却器，利用该冷却水输出端连接注入液体的设备，并利用冷却水输出端排出液体，再借由阀门控制流量；当热气经过风扇加速吹出形成热风，热风是由邻近风扇的通风孔进入循环室，并由循环室另一侧的通风孔进入风道回到风扇，完成流动的循环。

前述的烘烤设备降温装置，其中风道内设有一加热器，该加热器启动时该冷却器是关闭，而冷却器启动时该加热器是关闭，借由该加热器加温气体，并可避免冷却器与加热器同时启动。

前述的烘烤设备降温装置，其中冷却器为液冷式的冷却器，该冷却器是连接设有冷却水输出端、冷却水输出端，设有一阀门以连接冷却器，利用该冷却水输出端连接注入液体的设备，并利用冷却水输出端排出液体，再借由阀门控制流量。

前述的烘烤设备降温装置，其中本体设有水温表、安全装置、水流量显示装置、流量开关/警报装置，以提供使用者检视用。

前述的烘烤设备降温装置，其中循环室设有若干个承置架，借该承置架供放置待烘烤物。