[实用新型]改良的磁溅射圆柱靶

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种磁溅射机上所使用的改良的磁溅射圆柱靶。

背景技术

现有用于磁溅机上的磁溅射圆柱靶，一般包括靶头和靶体，所述靶头位于靶体之上，所述靶体包括圆筒状的靶材和位于靶材内的长形靶芯，所述靶芯包括冷却导水管槽和永久磁铁，所述冷却导水管槽的横截面一般为正六边形，在所述冷却导水管槽正六边形的六个面上均设有条状永久磁铁，所述永久磁铁的端部用U形磁铁首尾串接，形成一个整体磁闭合体，当需要溅射时，靶头带动靶芯旋转，让靶材溅射出去。这种结构的磁溅射圆柱靶由于在冷却导水管槽的圆周均设有永久磁铁，并且是靶头带动靶芯旋转，这样，在溅射时，靶材会被向圆周任意方向都被溅射，但是，现实溅射工件中，一般都是被溅射工件只放置在磁溅射圆柱靶某一溅射区域内，这样，溅射机的溅射只在被溅射工件所对应的区域是有效溅射，而其它区域是无效溅射，如此，就造成靶材的大量浪费，而现在靶材都是市面上相当昂贵的稀有金属，因此，而造成被溅射工件的成本会大大提高。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题是克服现有技术的不足，向社会提供一种可以大大降低被溅射工件成本，可定向溅射的改良的磁溅射圆柱靶。

本实用新型的技术方案是：设计一种改良的磁控溅射圆柱靶，包括靶头和靶体，所述靶头位于靶体之上，所述靶体包括圆筒状的靶材和位于靶材内的长形靶芯，所述靶芯包括冷却导水管槽和设置冷却导水管槽外壁上的首尾相接的永久磁铁，所述永久磁铁仅设置冷却导水管槽外壁的预定区域内，所述靶头带动所述靶材旋转。

所冷却导水管槽的横截面为正六面形，在所述正六面形相邻的三个面上设有永久磁铁。

所述永久磁铁为整条状。

所述永久磁铁为多个小磁铁拼接而成。

本实用新型由于采用了将所述永久磁铁仅设置冷却导水管槽外壁的预定区域内，所述靶头带动所述靶材旋转的结构，这样，当本磁控溅射圆柱靶工作时，将欲被溅射工件放在预定溅射区域内，就可以实现定向溅射，而在其它非溅射区域就不会产生溅射，这样，大大地节省了靶材，从而降低了被溅射工件的成本。

下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型剖视结构示意图。

图2为图1的A-A剖面放大结构示意图。

具体实施方式

请参见图1和图2，它是一种改良的磁控溅射圆柱靶，包括靶头1和靶体2，所述靶头1位于靶体2之上，所述靶体2包括圆筒状的靶材21和位于靶材内的长形靶芯22，所述靶芯22包括冷却导水管槽23和设置冷却导水管槽23外壁上的首尾相接的永久磁铁24，所述永久磁铁24仅设置冷却导水管槽23外壁的预定区域内，所述靶头1带动所述靶材21旋转。所冷却导水管槽23的横截面为正六面形，在所述正六面形相邻的三个面上设有永久磁铁24。所述永久磁铁24为多个小磁铁拼接而成。当然，所述永久磁铁24为整条状。

使用时，将被溅射工件25放置永久磁铁所对应的扇形区域内，旋转靶材21，所述靶材21在经过永久磁铁24所对应的溅射区域26时，才产生有效溅射。而靶材21在经过其它区域就不会产生溅射。这样，就可以实现定向溅射，大大地提高了溅靶材21的有效利用率。避免了靶材21的无谓消耗，可以节省靶材21，从而降低了被溅射工件的成本。