[实用新型]光刻版夹具

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体制造工艺，尤其涉及用于清洗光刻版的夹具。

【背景技术】

在半导体制造工艺中，每一个环节对环境、器具的清洁干净度都有很高的要求，即使是一丁点的沾污都会对产品的质量产生重要的影响，因此每一个细节的控制都非常重要，其中光刻版表面的清洁干净程度尤其重要。

目前，光刻版的清洗过程一般是将花篮固定在甩版机上的夹具，再将光刻版放在花篮里，大约每次放置十五块版，然后对光刻版进行低速冲水以及高速甩干。

但是，上述冲洗过程中仅仅从光刻版一个方向上进行冲水，难以彻底对光刻版进行清洁，而且光刻版与花篮之间存在一定空间，在高速旋转时容易发生光刻版撞碎的情况。

【发明内容】

本实用新型的目的是提供一种光刻版夹具，以提高光刻版的清洁效果，并有效地防止光刻版在甩干过程中受到损坏。

为达到上述发明目的，本实用新型提出以下的技术方案：

一种光刻版夹具，包括一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。

其中，所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔。

优选地，所述通孔上还加装有一螺钉。

优选地，所述通孔边缘设有防水孔。

其中，所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。

优选地，所述凸垫的面积为0.01～4cm²。

优选地，所述安装架为“十”字型。

其中，所述安装架的夹持部为直角，且四个夹持部围成矩形。

优选地，所述安装架为“人”字形。

优选地，所述韧性材料为聚四氟乙烯。

从以上技术方案可以看出，本实用新型由韧性材料制作而成，有一定韧性，光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起，且一个夹具只放置一块光刻版，不会产生相互撞击而损坏。此外，本实用新型与光刻版的接触面积很小，可以很好地保护光刻版的版图面不受划伤或污染，且对光刻版的表面冲洗更充分，提高了清洗的效果。

【附图说明】

图1为本实用新型的结构图；

图2为本实用新型的俯视图。

【具体实施方式】

下面结合具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细的描述。

实施例一：

如图1、图2所示，本实施例中夹具包括底座1，底座1上设有安装架2和通孔3。其中安装架2边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部2.1，夹持部2.1内侧设有放置光刻版的凸垫2.2，其中，所述夹持部2.1由韧性材料制成，可与光刻版过盈配合，一般而言，夹持部2.1内径可比光刻版外径略小0.5mm，由于夹持部2.1由韧性材料制成，具有一定的伸缩性，稍用力即可将光刻版压入夹持部2.1，直至凸垫2.2。

底座1中心还设有一可与马达/电机轴干配合转动的通孔3，为了防止水与马达/电机轴干接触，达到放水的目的，本实用新型还在通孔3上还加装有一由聚四氟乙烯制成的螺钉4，在通孔3边缘设有防水孔5。

由于光刻版与夹具通过过盈配合在一起，非常牢固，即使在3600RPM的高转速下也不会甩出，不会产生相互撞击而损坏。

实施例二：

本实施例与实施例一相比，在夹光刻版处结构不变的情况下，通过改变夹具与马达/电机的传动方式来完成本实用新型的目的。本实施例的夹具包括底座1，底座1上设有安装架2和通孔3。其中安装架2边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部2.1，夹持部2.1内侧设有放置光刻版的凸垫2.2，其中，所述夹持部2.1由韧性材料制成，可与光刻版过盈配合，一般而言，夹持部2.1内径可比光刻版外径略小0.5mm，由于夹持部2.1由韧性材料制成，具有一定的伸缩性；底座1中心还设有一转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮，马达/电机可通过传动带或传动齿轮带动夹具高速转动，对光刻版进行甩干。

进一步，为了保护光刻版版图面，夹具与光刻版的接触面积要尽可能的小，特别是光刻版的版图面要尽量不与夹具进行接触，在本实用新型中，支撑光刻版的凸垫2.2的面积很小，一般仅仅为0.01～4cm²(优选为1cm²左右)，不会与光刻版的版图面接触。