[实用新型]具有衍射孔阵列的近场均匀照明装置

权利要求书

1、一种具有衍射孔阵列的近场均匀照明装置，其特征在于，光源(1)光轴垂直于衍射孔阵列(2)所在平面；衍射孔阵列(2)是一种衍射孔(3)线阵或者面阵，按照周期d排列；衍射孔(3)半径a与光源(1)的波长λ属于同一数量级；衍射光在与衍射孔阵列(2)相距f的被照明表面(4)上形成的爱里斑(5)半径r由下式决定：

r＝0.61λf/a，

爱里斑(5)也按照周期d排列；相邻爱里斑(5)最小重叠部分为两个相同弓形，周期d由下式决定：

d＝2(r-h)，

式中h为弓形高。

2、根据权利要求1所述的近场均匀照明装置，其特征在于，衍射孔阵列(2)的宽度W由下式决定：

W＝2Ltgβ，

β为光源(1)的水平发散角，L为光源(1)与衍射孔阵列(2)的距离；

衍射孔阵列(2)的高度H由下式决定：

H＝2Ltgθ，

θ为光源(1)的垂直发散角，L为光源(1)与衍射孔阵列(2)的距离。

3、根据权利要求1所述的近场均匀照明装置，其特征在于，衍射孔(3)半径a与光源(1)的波长λ分别在1～10μm范围内。

4、根据权利要求1所述的近场均匀照明装置，其特征在于，衍射孔阵列(2)与被照明表面(4)的距离f为10～50mm。