[实用新型]卷绕镀膜机

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种卷绕镀膜机，特别涉及的是一种卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外的卷绕镀膜机。

背景技术：

在薄膜上镀功能膜多采用卷绕镀膜方式，，而传统的卷绕镀膜机采用单辊整体式镀膜，既在一个镀膜真空室内安放一个冷棍、2-3个阴极及靶芯及卷材放卷机构、收卷机构，由于结构限制原因，特别是要将体积庞大的卷材放卷机构、收卷机构置于真空室之内，需太大的真空箱，且全在真空箱内，通水、通电的管线多，产生的气体放气量太大，不利真空泵经济的运行，结构设计复杂及不方便检修，并且无法进行连续生产，生产效率低。

实用新型内容：

本实用新型的目的是为了克服以上不足，提供一种生产效率高、设备成本低、卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外的能进行连续生产的卷绕镀膜机。

本实用新型的目的是这样来实现的：

本实用新型卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜真空室，置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构，其特征是在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道，真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成，将卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外，大大降低了设备制造成本，也减轻了抽真空难度，减少了真空泵负荷，真空锁和窄缝阻尼通道组成了结构简便、密封性能可靠、寿命长的密封通道，由于无密封条、密封辊筒等密封元件与卷材的紧密接触，既保证了镀膜真空室内2-4×10^-2Pa的工作真空度，又避免了卷材与密封件的相互磨损，保证了卷材表面质量，本实用新型卷绕镀膜机能进行连续生产，大大地提高了生产效率。

上述的卷绕镀膜机，真空通道有至少一个抽真空泵组成的真空抽气系统。通过多组真空锁和窄缝阻尼组成的真空密封机构形成真空通道，实现了逐级抽真空，保证了镀膜真空室内2-4×10^-2Pa的工作真空度。

上述的卷绕镀膜机，镀膜真空室中有电子枪蒸发镀膜机构，有可对带材一面或两面镀膜的至少一把电子枪和带材转向机构。当需要对带材两面都镀膜时，利用带材转向机构如辊筒转向机构使带材另一面面向电子枪，实现了对带材两面镀膜，并利用带材转向机构对带材两面进行单层或多层镀膜。

上述的卷绕镀膜机，镀膜真空室出口有与之连接的真空附箱，真空附箱中有冷却辊，已镀膜完毕的带材特别是金属板材温度较高，需在收卷之前安置冷却机构对其进行降温处理。

上述的卷绕镀膜机，在卷材进入镀膜真空室之前位置安装有使卷材镀前其表面被加热、活化清洁的电子枪或离子源或加热器预处理机构。对膜表面进行清洗和表面处理，以保证后续镀膜质量。

本实用新型卷绕镀膜机改变了传统的卷绕镀膜机采用整体式镀膜结构，即在一个真空室内安放冷棍、阴极及靶芯及卷材放卷机构、收卷机构，本实用新型镀膜机卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外，真空锁和窄缝阻尼通道密封可靠，寿命长，设备制造成本低，镀膜机能在塑料薄膜、金属板材表面多层镀膜，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。

附图说明：

图1为本实用新型卷绕镀膜机结构示意图。

图2为图1俯视示意图。

图3为图1中A向示意图。

图4为本实用新型卷绕镀膜机单面镀膜时带材转向机构、真空镀膜室相互位置关系示意图。

图5为本实用新型卷绕镀膜机双面镀膜时真空镀膜室、真空附箱位置关系示意图。

图6为本实用新型卷绕镀膜机真空锁局部放大结构示意图。

图7为图6中B部分局部放大结构示意图。

图8为阻尼通道部分局部放大结构示意图。

图9为本实用新型卷绕镀膜机另一结构示意图。

具体实施方式：

实施例1：