[实用新型]一种探针卡固定框架有效
申请号: | 200820054511.1 | 申请日: | 2008-01-07 |
公开(公告)号: | CN201141873Y | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 何莲群 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R1/073 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 固定 框架 | ||
1、一种探针卡固定框架,所述探针卡固定框架是用于承载和固定具有若干探针的探针卡的固定框架,其特征在于,所述探针卡固定框架包括探针卡承载架,用于固定保护环的卡槽和保护环,所述卡槽开在探针卡承载架的内侧,所述保护环的直径大于所述探针卡承载架的直径,所述保护环的边缘部分插入所述探针卡承载架内侧开的卡槽内。
2、如权利要求1所述的探针卡固定框架,其特征在于,所述探针卡承载架为与探针卡匹配的环形架,所述保护环为具有一定宽度的圆环,所述保护环的宽度为圆环外环与内环的半径差。
3、如权利要求2所述的探针卡固定框架,其特征在于,所述圆环的宽度大于所述环形架内侧开有的卡槽深度。
4、如权利要求3所述的探针卡固定框架,其特征在于,所述圆环与所述探针卡匹配,所述卡槽外圆环的宽度仅覆盖所述探针卡上无探针的边缘部分。
5、如权利要求1所述的探针卡固定框架,其特征在于,所述探针卡承载架内侧开的卡槽高度等于所述保护环的厚度。
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