[实用新型]X射线定向仪粘胶机

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，特别是一种用于晶棒在粘胶前对晶棒进行角度及角差调整的仪器。

背景技术

晶棒需经切割成晶片后再应用于电声元器件，而由于晶体的各向异性，切割成晶片时必须要对晶棒的物理反射角进行调整，调整后将若干晶棒按调整角度粘胶固定，再按照某一确定的与基准面的角度对晶棒进行切割。现有技术中的晶棒切割前的粘胶，是先在X射线定向仪测量出晶棒的z面的角度偏差，再将晶棒在调角器上调整角度和晶棒的角差，用胶水固定后再上机切割。此种方式缺点是效率差，晶棒粘胶精度有误差使晶片切割精度不高。

发明内容

本实用新的目的在于提供一种能解决上述不足的X射线定向仪粘胶机。

本实用新型的目的是这样实现的：X射线定向仪粘胶机，包括一工作台，工作台上固定有用于测试晶棒的基准边，还设置有可发射X射线的X射线仪以及可接收X射线的探测器，工作台上还安装有可调整晶棒角度及角度差的调角器，调角器的一侧固定有限制晶棒的支点。

本实用新型X射线定向仪粘胶机是将X射线定向仪与调角器的有效结合，同时也有区别，X射线定向仪粘胶机测量的是同晶片平行的r面角度，通过调节旋钮，使测量面同切割面角度一致，再用胶水固定晶棒，完成晶棒粘胶。

本实用新型的优点是：直接在同一检测设备上矫正晶棒角度及角差，并直接在工作台上将晶棒粘胶，提高了工效，提高了粘胶精度；本实用新型测量与晶片切割基本平行的r面角度，使测量角度更加接近于晶片角度，减少了z面角调整至r面角度的误差。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中，1为工作台，2为基准边，3为X射线仪，4为探测器，5为调角器，6为支点，7为晶棒。

具体实施方式

以下结合附图说明本实用新型的具体实施方式：

参照图1，X射线定向仪粘胶机，包括一工作台1，工作台1上固定有用于测试晶棒7的基准边2，还设置有可发射X射线的X射线仪3以及可接收X射线的探测器4，工作台1上还安装有可调整晶棒角度及角度差的调角器5，调角器5的一侧固定有限制晶棒7的支点6。

工作时，参照基准边放置晶棒，使支点抵住晶棒一端，另一端靠在调角器的顶部，由X射线仪发出的X射线射向晶棒上与晶片切割角度基本平行的r面，经反射后的X射线被探测器接收，探测器并测出此时晶棒位置与标准角度间的偏差，通过调整调解器上的旋钮使晶棒以支点为圆心旋转一定角度以消除探测器检测到的角度偏差，即可将此时位置的晶棒相对基准边用胶水粘胶。