[发明专利]顶部发光有机显示器的阳极结构及其制造工艺

权利要求书

1.一种顶部发光有机显示器的阳极结构，是在硅衬底层(1)上镀膜形成电极，其特征在于硅衬底层(1)上镀的膜为四层膜，所述的四层膜从硅衬底层(1)向上分别是高纯铬膜层(2)、高纯铝膜层(3)、高纯铬膜层(4)和高纯钼膜层(5)。

2.如权利要求1所述的顶部发光有机显示器的阳极结构，其特征在于从硅衬底层(1)向上，高纯铬膜层(2)厚度为高纯铝膜层(3)厚度为高纯铬膜层(4)厚度为高纯钼膜层(5)厚度为

3.如权利要求1所述的顶部发光有机显示器的阳极结构制造工艺，其特征在于采用除射频溅镀法外的PVD法，包括以下工艺：

(1)在镀膜前，对硅衬底层(1)进行预热处理，预热温度为85℃，蒸镀腔腔体真空度为10^-5Pa；

(2)金属镀膜，镀膜的顺序依次是高纯铬、高纯铝、高纯铬、高纯钼，镀膜的步骤如下：

A、硅衬底层(1)预热；

B、在预热后的硅衬底层(1)上镀高纯铬膜层(2)，厚度为

C、在已镀的高纯铬膜层(2)上镀高纯铝膜层(3)，厚度为

D、在已镀的高纯铝膜层(3)上镀高纯铬膜层(4)，厚度为

E、在已镀的高纯铬膜层(4)上镀高纯钼膜层(5)，厚度为

4.如权利要求3所述的顶部发光有机显示器的阳极结构制造工艺，其特征在于上述的B、C、D、E步骤按先后顺序一次完成生长过程。