[发明专利]电阻式随机存储器用合金电极材料及其制备技术

权利要求书

1、电阻式随机存储器用合金电极材料，其特征在于所述合金电极材料的选择依据为主体金属材料可以与相应记忆材料形成肖特基接触，客体材料可以化合/传输氧原子。

2、按权利要求1所述电阻式随机存储器用合金电极材料，通式为Lu1-xMexMnO3，式中Lu为La、Pr、Nd、Sm等稀土金属元素，Me为Ca、Sr、Ba等碱土金属元素，x＝0.3。

3、按权利要求1所述的电阻式随机存储器用合金电极材料，金属材料为Al、Ti、Ag、Au、Mo等。

4、按权利要求3所述主体材料优选Al，客体体材料优选Ag。

5、电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于可以选用电子束蒸发、热蒸发、磁控溅射和原子层沉积等方法。

6、按权利要求5所述的电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于电极接触层可以采用以下方法获得：

(1)制备时衬底保持一定温度，

(2)通过后续退火获得，

(3)通过电激发获得，可采用电压-电流扫描法和电脉冲法。

7、按权利要求5所述的电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于，所述的生长工艺温度在200～400℃。

8、按权利要求5所述的电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于，所述的退火工艺为200～300℃，气氛为真空或氩气/氮气等保护气氛，时间为0.5～2小时。

9、按权利要求5所述的电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于，所述的如电激发工艺中电压-电流扫描法的具体参数：扫描电压为±2～5伏，方式为循环电压-电流扫描，扫描电压步长为0.01～0.1伏，扫描速率为0.05～0.5伏/秒，温度为25℃，气氛为大气条件。

10、按权利要求5所述的电阻式随机存储器用合金电极材料的制备方法，其特征在于，所述的电脉冲法的具体参数：脉冲电压为±3～7伏，方式为正负交替激发，脉冲宽度为100纳秒～1毫秒，脉冲次数为100～10000，温度为25℃，气氛为大气条件。