[发明专利]显示器用间隔层的制造方法有效
申请号: | 200810178601.6 | 申请日: | 2008-11-21 |
公开(公告)号: | CN101740283A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 李宏元;郑景翔;秦年君;范明忠 | 申请(专利权)人: | 大同股份有限公司;财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01J9/24 | 分类号: | H01J9/24 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 器用 间隔 制造 方法 | ||
1.一种场发射组件用间隔层的制造方法,其包括以下的步骤:
提供一基板;
于该基板表面涂布一离型层;
于该离型层上涂布一牺牲层;
图案化该牺牲层;
将一玻璃胶形成于该离型层上;
加热烧结该玻璃胶以形成一间隔层,并移除该牺牲层;以及
分离该间隔层与该基板。
2.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该基板的材质选自由玻璃、金属、不锈钢及陶瓷所组成的群组。
3.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该离型层为石墨、陶瓷粉、乳化剂、水性溶剂或其混合物。
4.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该牺牲层经由图案化形成具孔洞的牺牲层或复数个牺牲层柱体。
5.如权利要求4所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该图案化牺牲层柱体的形状为圆形、矩形、三角形、多边形、不规则形或上述各形状的组合。
6.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该图案化的牺牲层为一干膜。
7.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,于该离型层表面形成该玻璃胶是以浇灌或网版印刷的方式形成。
8.如权利要求7所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该牺牲层移除前先在该牺牲层熔点温度以下烘烤,而后再移除该牺牲层。
9.如权利要求7所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该牺牲层是以湿式酸碱移除。
10.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,烧结温度为450至550℃。
11.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,烧结后需移除该牺牲层残留的碳渣。
12.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该牺牲层的高度为500μm以上。
13.如权利要求1所述的场发射组件间隔物的制造方法,其中,该玻璃胶为氧化铅、氧化硼、氧化锌、氧化硅、氧化钠、氧化铝、氧化钙或其混合物。
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