[发明专利]集尘装置、自动清洁装置及自动清洁方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种清洁装置及清洁方法，且特别是有关于一种自动 清洁装置及自动清洁方法。

背景技术

集成电路的制造需要极高的洁净度，方能使制造出的集成电路达到所 预期的功能与目的。在目前半导体的技术发展之下，集成电路要求的集成 度也更加地提高。因此，对制造半导体元件的机台等的微尘的清除是非常 重要的工作。

脚位/正印扫描机台(Lead/Mark Scanner)为业界使用于检测芯片外观 的检测仪器，其使用的玻璃基座(含载台)于检测时如有异物残留，如微粒 或胶渣等异物，则在检测过程中会让脚位/正印扫描机台将正常的产品误判 为故障的产品，而导致产品良率下降及制造成本上升等问题。

虽然原厂的脚位/正印扫描机台具有吹气装置，但因异物与玻璃基座之 间的粘着性或静电值的影响，会使得这些异物出现难以吹除的情况。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种自动清洁装置，可自动地且有 效率地清洁半导体机台的透光基座。

本发明的另一目的是提供一种自动清洁方法，以提升产品良率及降低 制造成本。

本发明提出一种自动清洁装置，用于清洁半导体机台中的一透光基 座，自动清洁装置包括集尘装置及开关。集尘装置包括抽气装置、吸尘主 体、刷毛及移动装置。吸尘主体与抽气装置相通且具有吸入口。刷毛沿着 吸入口的轮廓设置于吸尘主体上。移动装置用以移动设置于移动装置上的 吸尘主体。开关电性连接集尘装置与半导体机台，用以接收半导体机台所 发出的启动信号，使集尘装置在作动时间内清洁透光基座；其中，该半导 体机台包括一脚位/正印扫描机台，该脚位/正印扫描机台包括：该透光基 座；一载台，设置于该透光基座上；以及一芯片拾取装置，设置于该透光 基座的一侧，用以拾取位于一进料位置上的一芯片盘中的一芯片，且将该 芯片置放于该载台上。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，更包括可编 程逻辑控制器，电性连接集尘装置与开关，以编写程控作动时间。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，开关包括电 磁阀。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置包 括芯片拾取装置，且吸尘主体位于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置更 包括升降装置，设置于芯片拾取装置靠近透光基座的一侧的侧壁上，以垂 直移动吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，启动信号包 括芯片盘离开进料位置时所送出的信号。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，脚位/正印扫 描机台更包括推进器，用以将芯片盘推入或推出进料位置。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，启动信号包 括推进器要将芯片盘推出进料位置时用以驱动推进器的信号。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛的长度 例如是大于该载台的高度。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，抽气装置包 括真空泵。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，吸尘管路， 连通抽气装置与吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，更包括过滤 器，设置于抽气装置与吸尘主体之间。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛的材料 包括抗静电材料。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，刷毛包括环 状刷毛。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，移动装置包 括升降装置，以垂直移动吸尘主体。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，透光基座包 括基座部。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，基座部的材 料包括可透光材料。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，可透光材料 包括玻璃。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，透光基座更 包括涂布层，设置于该基座部上。

依照本发明的一实施例所述，在上述的自动清洁装置中，涂布层的材 料包括白色乳胶。