[发明专利]集尘装置、自动清洁装置及自动清洁方法

权利要求书

1.一种自动清洁装置，用于清洁一半导体机台中的一透光基座，其 特征在于，包括：

一集尘装置，包括：

一抽气装置；

一吸尘主体，与该抽气装置相通且具有一吸入口；

一刷毛，沿着该吸入口的轮廓设置于该吸尘主体上；以及

一移动装置，用以移动设置于该移动装置上的该吸尘主体；其中，

该移动装置包括一升降装置，以垂直移动该吸尘主体；以及

一开关，电性连接该集尘装置与该半导体机台，用以接收该半导体机 台所发出的一启动信号，使该集尘装置在一作动时间内清洁该透光基座；

其中，该半导体机台包括一脚位/正印扫描机台，该脚位/正印扫描机 台包括：该透光基座；一载台，设置于该透光基座上；以及一芯片拾取装 置，设置于该透光基座的一侧，用以拾取位于一进料位置上的一芯片盘中 的一芯片，且将该芯片置放于该载台上。

2.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一可 编程逻辑控制器，电性连接该集尘装置与该开关，以编写程控该作动时间。

3.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该开关包括 一电磁阀。

4.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该移动装置 更包括该芯片拾取装置，且该吸尘主体位于该芯片拾取装置靠近该透光基 座的一侧。

5.根据权利要求4所述的自动清洁装置，其特征在于，该升降装置 设置于该芯片拾取装置靠近该透光基座的一侧的侧壁上。

6.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该启动信号 包括该芯片盘离开该进料位置时所送出的信号。

7.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该脚位/正印 扫描机台更包括一推进器，用以将该芯片盘推入或推出该进料位置。

8.根据权利要求7所述的自动清洁装置，其特征在于，该启动信号 包括该推进器要将该芯片盘推出该进料位置时用以驱动该推进器的一信 号。

9.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛的长 度大于该载台的高度。

10.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该抽气装置 包括一真空泵。

11.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一吸 尘管路，连通该抽气装置与该吸尘主体。

12.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，更包括一过 滤器，设置于该抽气装置与该吸尘主体之间。

13.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛的材 料包括抗静电材料。

14.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该刷毛包括 一环状刷毛。

15.根据权利要求1所述的自动清洁装置，其特征在于，该透光基座 包括一基座部。

16.根据权利要求15所述的自动清洁装置，其特征在于，该基座部 的材料包括一可透光材料。

17.根据权利要求16所述的自动清洁装置，其特征在于，该可透光 材料包括玻璃。

18.根据权利要求15所述的自动清洁装置，其特征在于，该透光基 座更包括一涂布层，设置于该基座部上。

19.根据权利要求18所述的自动清洁装置，其特征在于，该涂布层 的材料包括白色乳胶。