[发明专利]液状体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机EL元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及含有功能性材料的液状体的喷出方法、使用其的滤色片的制造方法、有机EL元件的制造方法。

背景技术

作为含有功能性材料的液状体的喷出方法，知道有将含有滤色片材料的液状体向基板喷出，从而制造滤色片的方法(专利文献1)。

在上述滤色片的制造方法中，以沿规定的方式排列喷嘴列的方式，使具有能够将液状体作为液滴喷出的多个喷嘴的液滴喷出头与基板对置。还有，采用了在从位于喷嘴列的两端部的规定区域的喷嘴(未使用喷嘴)不喷出液状体的状态下，使基板和液滴喷出头相对移动，同时，从喷嘴(使用喷嘴)向基板上的规定的位置喷出液状体，形成滤色片的方法。由此，不使用位于喷嘴列的两端部的规定区域的喷出量较多的喷嘴而进行液状体的喷出，因此，能够更均一地喷出液状体。

然而，从上述液滴喷出头的多个喷嘴喷出的液滴的喷出量实际上在喷嘴之间存在不均。若该不均大，则在喷出后形成的薄膜上产生不均，例如，在滤色片的情况下，存在色不均所谓的问题。

作为该喷嘴间的喷出量的不均的原因，可以举出在向将液状体从喷嘴作为液滴喷出的能量产生机构(例如，压电元件或加热元件等)施加驱动电压时，驱动电压发生不均的所谓电串扰。另外，可以举出由于每一个喷嘴中被供给液状体的流路不同，导致喷出液滴的压力或速度在喷嘴间不同的所谓的机械串扰。

作为防止这样的串扰现象的发生的方法，知道有向邻接的喷嘴每一个(能量产生机构)输入不同驱动波形，使时期不同地驱动的喷墨式印刷方法(专利文献2)。

【专利文献1】特开2003-159787号公报

【专利文献2】特开平10-193587号公报

然而，即使考虑串扰现象，向邻接的喷嘴(能量产生机构)每一个输入不同的驱动波形，施加驱动波形的能量产生机构的数量有时根据驱动波形每一个变动。因此，与液滴的喷出有关的电负荷根据驱动波形每一个变动，驱动波形的衰减方式变化。从而，由于每个驱动波形的衰减方式，导致喷出的液滴的喷出量的偏差在喷嘴间发生的问题。因此，存在难以将必要量的液状体向希望的区域稳定地喷出的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而做成的，能够通过以下的方式或适用例来实现。

[适用例1]本适用例的液状体的喷出方法，具有：同步于对置配置多个喷嘴和具有膜形成区域的被喷出物，使该多个喷嘴和被喷出物相对移动的扫描，向在所述喷嘴每一个设置的能量产生机构施加以分时产生的多个驱动波形的一部分，从所述多个喷嘴将含有功能性材料的液状体作为液滴向所述膜形成区域喷出的喷出工序，所述液状体的喷出方法的特征在于，在所述喷出工序中，在所述扫描中，向由所述多个喷嘴构成的喷嘴列中与所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加所述多个驱动波形中的相互不同的喷出时序的驱动波形，并且，以使被施加的所述能量产生机构的数量在所述驱动波形每一个中为相同数量的方式，设定所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。

根据该方法可知，在喷出液滴时，避免与膜形成区域有关的相邻的喷嘴的能量产生机构中的电串扰，且使施加驱动波形的能量产生机构的数量在驱动波形每一个中为相同数量，因此，能够均一化电负荷引起的驱动波形每一个的衰减。即，根据这样的不同的喷出时序的驱动波形的组合可知，能够减少喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差，能够将液状体以稳定的喷出量向膜形成区域喷出。

[适用例2]在上述适用例的液状体的喷出方法中，优选在所述喷出工序中，在所述扫描中，至少改变一次所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。

根据该方法可知，将同一驱动波形的组合适用于与膜形成区域有关的喷嘴的能量产生机构，与反复喷出液滴的情况相比，至少改变一次不同的喷出时序的驱动波形的组合，因此，喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差在扫描的中途变化。从而，能够减少喷出的液滴的喷出量的偏差引起的扫描方向的条纹状喷出部件。

[适用例3]在上述适用例的液状体的喷出方法中，在所述喷出工序中，进行多次所述扫描，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域喷出所述液滴，使在每一次所述扫描中施加于与所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同也可。

根据该方法可知，在多次扫描的每一次中，使施加于与膜形成区域有关的喷嘴的能量产生机构的不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同，因此，能够进一步减少扫描方向中的条纹状喷出不均。